平版印刷软烘烤加热元件

为何软烘工艺需要专用加热器？ 我们为光刻软烘工艺制造专门的加热元件，这些元件主要用于晶圆制造的前端工序。其作用很简单：在光阻固化过程中，将热量精确地输送到所需位置。因为只要温度偏差一度，就可能导致整批产品失效。因此，我们设计的加热器采用了高密度卤素灯管，能够将热量精准地输送到需要的地方，而不会影响...