均匀性光刻胶烘烤灯

在光刻工序中，软烘烤和硬烘烤阶段决定了光阻层的厚度是否均匀。如果晶圆各处的烘烤温度不均匀，就会导致光阻层厚度出现差异。这种差异会在刻蚀后体现为晶圆厚度的波动，最终使得晶圆无法使用。 关键在于精确控制温度 我们设计的光阻烘烤灯采用了短波近红外光源阵列，同时搭配了碳纤维增强型石英窗口。这种设计能够将晶...