UHP 超高纯度 加热灯

在半导体制造过程中减少碳排放：为何我们要转向使用超纯度红外灯 目前，所有的半导体工厂都面临着实现碳中和目标的巨大压力。长期以来，我们一直依赖那种传统的电阻式加热炉，但这类加热炉其实非常耗能。因此，我们开始转向使用超纯度红外灯系统。这类灯光不会让整个腔体都变热，而是直接照射到晶圆或石英管上。这是一种...