用于制造领域的R7s红外线加热灯泡

在光刻过程中，如果光阻烘烤时的温度偏差达到2°C，就足以导致关键尺寸出现纳米级的误差，从而使大量晶圆变成废品。R7s型红外加热灯的设计目的就是将热量精确地传递到需要加热的区域，避免热量分布不均。 核心优势 R7s型红外加热灯能够利用短波红外光直接照射光阻和基板，从而快速且稳定地提升温度。在整个烘烤...