可与真空环境配合使用的红外加热器
在芯片制造过程中减少碳排放:为何真空红外加热器是最佳选择
半导体制造是一项对精度要求极高的工作。必须保持精确的温度控制,同时还要确保没有空气或灰尘污染晶圆。长期以来,人们一直使用那种大型的电阻炉来加热晶圆,但实际上,这类炉子只是把整个房间里的空气都加热起来,才能让一个晶圆变热。这无疑是一种能源浪费...
真空室红外加热器
避免单只灯管损坏导致整个生产流程中断
在高负荷的生产环境中,灯管损坏所带来的后果远不止是带来麻烦或短暂停机那么简单——那简直就是一场灾难。
如果真空室内的石英管破裂,那就不仅仅是灯泡坏了那么简单了。玻璃碎片和金属丝会四处飞溅,从而立刻污染晶圆表面。这简直一团糟,而且成本极高。
正因如此,我们才会以...