用于晶圆红外测量的高精度加热设备

在制造车间里，光刻工艺是按照既定节奏进行的——一旦流程开始，就无法中途暂停。如果在光阻的软烘或硬烘过程中红外温度出现波动，那么就不得不努力控制尺寸偏差，而这会影响到产品的良率。因此，需要的是一种能够保持恒定温度、使整个晶圆上的温度均匀且每次处理时都能保持相同温度模式的加热装置。 从技术层面来看，重...