电池隔膜干燥厂

在晶圆厂车间，几度温差就足以将稳定运行变为异常。在光刻和光刻胶处理过程中，烘烤步骤不仅是预热。它是决定线宽控制、侧壁轮廓和缺陷水平的热预算。当干燥机出现偏差时，会导致晶圆上软烘烤不均匀、图形底脚现象以及溶剂残留，引发颗粒生成。结果是废品、返工和计划外设备停机。 我们为半导体晶圆厂设计了电池隔膜膜干...