为何软烘工艺需要专用加热器？ 我们为光刻软烘工艺制造专门的加热元件，这些元件主要用于晶圆制造的前端工序。其作用很简单：在光阻固化过程中，将热量精确地输送到所需位置。因为只要温度偏差一度，就可能导致整批产品失效。因此，我们设计的加热器采用了高密度卤素灯管，能够将热量精准地输送到需要的地方，而不会影响...

在光刻工序中，软烘烤和硬烘烤阶段决定了光阻层的厚度是否均匀。如果晶圆各处的烘烤温度不均匀，就会导致光阻层厚度出现差异。这种差异会在刻蚀后体现为晶圆厚度的波动，最终使得晶圆无法使用。 关键在于精确控制温度 我们设计的光阻烘烤灯采用了短波近红外光源阵列，同时搭配了碳纤维增强型石英窗口。这种设计能够将晶...

在光刻车间，你知道流程：即使是半度的烘烤漂移也会导致CD控制超出规格。你将DUV光刻胶经过软烘烤和硬烘烤，以驱除溶剂并锁定光刻胶的轮廓。如果热预算不对，线条会变宽，边缘粗糙度上升，整个批次突然变为红色。DUV光刻胶烘烤灯的存在就是为了消除这种变异性。 实际重要的内容 我们设计这款灯具是为了将短波能...