如何让半导体干燥过程真正实现绿色化？
在处理半导体晶圆时，实际上是在与热量进行一场“高风险的游戏”。必须去除其中的溶剂和水分，但如果无法妥善控制温度，那么整批珍贵的硅片就会毁掉。
长期以来，我们一直依赖传统的电阻式加热系统。这种系统效率低下且操作复杂。现在，我们正在转向使用数字式红外线干燥控制器。与那些试图加热整个烤箱内的空气相比，这种控制器能够将热量直接传递到晶圆上，从而避免浪费能源。
停止在无用的热量上浪费能量
传统系统的问题在于其温度控制不准确——温度会过高，然后又下降，如此反复。这种循环方式会导致每块晶圆需要消耗大量的电能。而数字式红外线控制器则通过PID控制机制来解决问题。简单来说，它可以根据实时传感器的数据来调整功率，从而保持恒定的温度。
不过，真正的奇迹还在于脉冲式红外线技术。这种技术可以“分段”供应能量，这样就不必每秒都全负荷运转，从而大大节省能源。
硬件方面的现实问题
如果想要打造“绿色工厂”，就不能仅仅把设备接通电源就不管了。还需要考虑其电力消耗情况。高瓦数的红外线灯虽然能快速升温，但会对电源系统造成巨大负担。另外，冷却系统也是个问题：如果想要提高生产效率，风扇就必须具备足够的性能。如果电力电子设备过热，系统就会减速运转，最终导致效率下降。
减少碳排放
如果我们希望实现碳中和的目标，就必须降低能源消耗。其中最有用的方法就是实现即时加热功能。想象一下，在换班或进行快速维护时，系统仍以高温状态运行，这会浪费多少能源啊！有了数字式控制器之后，只需关闭电源，等需要使用时再重新启动即可。这样既不会浪费能源，也能避免过多的碳排放。