Thiết bị gia nhiệt dùng trong quy trình in phun Lithography
Tại sao việc sử dụng thiết bị gia nhiệt chuyên dụng lại rất quan trọng trong quá trình xử lý bề mặt wafer?
Chúng tôi chế tạo các linh kiện gia nhiệt...
Đèn sấy chất cảm quang dùng để đạt mức độ đồng nhất
Trong quy trình in ấn bằng kỹ thuật litography, giai đoạn “soft bake” và “hard bake” chính là lúc hình dạng của lớp phim quang học được xác định hoặc...
Đèn nung resist tia UV sâu (DUV)
Trên sàn lithography, bạn biết quy trình: một lần nướng lệch chỉ nửa độ cũng làm lệch kiểm soát CD. Bạn cho DUV photoresist qua quá trình nướng mềm...