Trong quy trình in ấn bằng kỹ thuật litography, giai đoạn “soft bake” và “hard bake” chính là lúc hình dạng của lớp phim quang học được xác định hoặc thay đổi. Nếu việc sấy khô không diễn ra đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer, điều đó sẽ dẫn đến sự chênh lệch về độ dày của lớp phim quang học. Điều này sẽ gây ra những sai số về độ dày của wafer sau khi tiến hành quy trình etch; kết quả là wafer sẽ bị coi là vật liệu không thể sử dụng được nữa.
Những yếu tố quan trọng
Chúng tôi chế tạo bộ đèn sấy khô lớp phim quang học dựa trên một bộ phát tia hồng ngoại tần số cực ngắn, kết hợp với cửa sổ làm từ thủy tinh được gia cường bằng sợi carbon. Thiết bị này giúp duy trì độ ổn định về nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer, và độ lặp lại của nhiệt độ nằm trong khoảng ±0,5°C giữa các lần sấy. Bộ cảm biến gồm 16 chiếc giúp kiểm soát chặt chẽ nhiệt độ, từ đó giúp loại bỏ chất dung môi khỏi lớp phim quang học một cách hiệu quả mà không gây ra sai số. Đèn hoạt động 24/7 trong các phòng sạch loại 1–100, và không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào; điều này được xác nhận thông qua việc đo lượng hạt bụi dưới mức 0,01/cm².
Đó chính là lý do tại sao độ chính xác cao này lại có tác động tích cực trong quy trình sản xuất. Giai đoạn “soft bake” giúp loại bỏ chất dung môi một cách đồng đều, còn giai đoạn “hard bake” giúp thiết lập hình dạng của lớp phim quang học một cách chính xác, từ đó giúp giữ nguyên độ rộng của đường viền và góc của các bề mặt trên wafer.
Quy trình etch cũng được cải thiện đáng kể: ít xảy ra hiện tượng tải trọng vi mô, ít phải sửa chữa, và khả năng kiểm soát độ dày của wafer cũng trở nên chính xác hơn. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi, vì đèn có thể đạt đến nhiệt độ mong muốn trong vài giây, và duy trì nhiệt độ đó một cách ổn định, từ đó giảm thiểu sự tổn thất năng lượng do nhiệt độ cao.
Việc lắp đặt khá đơn giản, nhưng bạn cần có nguồn điện 24VDC riêng và nguồn không khí sạch, khô để duy trì nhiệt độ của cửa sổ ở mức mong muốn. Thiết bị này có thể được sử dụng với hầu hết các máy phủ/Máy sấy hiện có, nhưng bạn cần kiểm tra xem có cần thiết bị chuyển đổi phù hợp với từng loại máy hay không.
Hãy lập kế hoạch về mức nhiệt độ cần duy trì trong suốt quy trình sấy. Hiệu suất của đèn phụ thuộc vào khối lượng nhiệt của bộ phận giữ wafer và cấu trúc của wafer本身.