Trong quy trình sản xuất, yếu tố nhiệt độ có thể ảnh hưởng tiêu cực đến chất lượng sản phẩm. Chỉ cần có sự chênh lệch nhiệt độ 0,5°C trên bề mặt wafer trong quá trình xử lý bằng hóa chất, hoặc chiếc đèn sử dụng để làm khô wafer hoạt động kém hiệu quả, thì quy trình vốn dĩ có thể được lặp lại một cách nhất quán sẽ trở thành điều không thể dự đoán được. Chúng tôi đã thiết kế chiếc đèn sấy Evatec để loại bỏ những yếu tố gây ra sự không ổn định này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Chiếc đèn này sử dụng nguồn sáng halogen tia cực ngắn bên trong vỏ bằng thạch anh, giúp tạo ra nhiệt lượng nhanh chóng và trực tiếp, với thời gian phản ứng chỉ trong vài giây. Mức độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer duy trì ở mức ±0,1°C, và độ ổn định của nhiệt độ vẫn được duy trì từ giai đoạn sấy nhẹ cho đến giai đoạn sấy mạnh. Thiết kế này giúp tránh việc xuất hiện các hạt bụi không mong muốn, do đó mức độ sạch trong phòng sản xuất vẫn được duy trì ở mức 1–100. Chiếc đèn này có thể hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố, và công suất của nó vẫn ổn định sau hơn 5.000 giờ hoạt động – tỷ lệ giảm công suất chỉ dưới 5%.
Tại sao nó lại hiệu quả trong thực tế? Dù bạn đang làm khô wafer sau khi vệ sinh, xử lý bề mặt wafer bằng hóa chất, hay thực hiện các bước cuối cùng trong quy trình sản xuất, mức độ kiểm soát nhiệt độ vẫn được duy trì ở mức cao. Điều này giúp giảm số lượng khuyết tật trên bề mặt wafer, giảm chi phí tái sản xuất, và đảm bảo độ chính xác trong quy trình in ấn. Tốc độ phản ứng nhanh giúp rút ngắn thời gian xử lý, trong khi công suất ổn định giúp giảm lượng chất thải và kéo dài tuổi thọ của đèn – ít cần thay thế hơn và tiết kiệm năng lượng hơn.
Điều bạn cần biết: Khi lắp đặt, cần đảm bảo rằng giao diện kết nối của thiết bị phù hợp với thiết bị khác, đồng thời đảm bảo rằng hình dạng của bộ phản chiếu phù hợp với cửa sổ của buồng xử lý. Mật độ nhiệt độ được điều chỉnh sao cho phù hợp với tốc độ bay hơi cần thiết; do đó, khi thay đổi đèn giữa các máy khác nhau, cần điều chỉnh lại các thông số kỹ thuật. Sau khi thay đổi, cần tiến hành kiểm tra để đảm bảo mức độ đồng đều của nhiệt độ.