Trên sàn lithography, bạn biết quy trình: một lần nướng lệch chỉ nửa độ cũng làm lệch kiểm soát CD. Bạn cho DUV photoresist qua quá trình nướng mềm và nướng cứng để loại bỏ dung môi và cố định hình dạng. Nếu ngân sách nhiệt không đúng, các đường sẽ phình ra, độ gồ ghề của cạnh tăng lên, và toàn bộ lô hàng sẽ ngay lập tức báo đỏ. Đèn nướng DUV được thiết kế để loại bỏ sự biến động này.
Những gì thực sự quan trọng bên trong
Chúng tôi đã chế tạo đèn này để phát năng lượng sóng ngắn vào đúng nơi mà DUV resist thực sự hấp thụ, với các bộ phận bằng thạch anh giúp giữ ổn định quang phổ. Trên mặt chao, độ đồng nhất ở mức wafer giữ trong khoảng ±0.1°C, vì vậy mọi wafer trong lô đều trải qua cùng một lịch sử nhiệt độ. Hành vi trong phòng sạch không phải là một suy nghĩ sau cùng—các không gian Class 1–100 không có sự gia tăng hạt bụi, và khu vực nóng được giữ kín để khí thoát không thể làm ô nhiễm resist. Đầu ra lặp lại qua hàng nghìn chu kỳ nướng, và khối lượng nhiệt được quản lý để bạn không bị lệch khi dây chuyền hoạt động 24/7.
Tại sao nó giữ vững trong lithography DUV
Năng suất phụ thuộc vào các cửa sổ quy trình mà bạn có thể thực sự duy trì. Kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ giảm thiểu sự dao động của CD và bảo vệ biên độ chồng lắp, điều này có nghĩa là ít phế phẩm và ít làm lại. Thời gian rút ngắn ở cuối dây chuyền vẫn nhất quán, và độ gồ ghề của cạnh giảm vì hồ sơ nướng lặp lại lô này qua lô khác. Kết nối hiệu quả và ổn định nhanh giữ mức tiêu thụ năng lượng trong tầm kiểm soát, và hồ sơ độ tin cậy giúp bạn duy trì tiến độ mà không bị gián đoạn bất ngờ. Lợi ích là ít phải vật lộn với các tham số và đầu ra mà bạn có thể dự đoán.
Những gì bạn cần làm khi lắp đặt
Khớp kích thước đèn và giao diện với thiết bị phủ/nướng của bạn là bước đầu tiên. Chúng tôi cung cấp thông số kết nối và dữ liệu căn chỉnh, nhưng bạn vẫn phải xác minh hình học khoang lò. Hãy chuẩn bị cho một lần đốt thử nhanh và lập bản đồ nhiệt để cố định hồ sơ cho lớp resist của bạn. Và một lưu ý thực tế: đèn phải được ghép nối với đường ống thoát khí đạt tiêu chuẩn phòng sạch để xử lý các chất dễ bay hơi trong quá trình nướng nhiệt độ cao.