Tại sao việc sử dụng thiết bị gia nhiệt chuyên dụng lại rất quan trọng trong quá trình xử lý bề mặt wafer?
Chúng tôi chế tạo các linh kiện gia nhiệt dành riêng cho quá trình xử lý bề mặt wafer bằng phương pháp lithography. Mục đích của việc này rất đơn giản: duy trì nhiệt độ chính xác ở những vị trí cần thiết trong quá trình làm khô chất bảo vệ bề mặt wafer.
Thực tế là, chỉ cần sai lệch một độ thôi cũng có thể khiến toàn bộ sản phẩm bị hỏng. Vì vậy, chúng tôi sử dụng các ống halogen có mật độ cao để tạo ra nguồn nhiệt ổn định và chính xác, chỉ tập trung vào những vị trí cần thiết mà thôi.
Điện áp, công suất và kích thước
Những thiết bị gia nhiệt này được thiết kế để hoạt động trong không gian hạn chế. Chúng hoạt động ở điện áp và mật độ cao, giúp chúng có thể được lắp đặt trong không gian nhỏ mà vẫn giữ được hiệu suất cao. Điện áp 400V giúp tạo ra công suất cần thiết trong một chiều dài nhỏ – ví dụ như ống thạch anh 300mm. Việc sử dụng điện áp này giúp giảm dòng điện, từ đó không cần dùng các dây dẫn cồng kềnh; đồng thời, các đầu nối cũng ít bị nóng hơn. Với công suất 2500W, thiết bị có thể nhanh chóng đạt đến nhiệt độ cần thiết, và giữ nguyên nhiệt độ đó ngay cả khi quá trình xử lý diễn ra dưới tải cao.
Vật liệu được sử dụng
Bên trong thiết bị là các linh kiện halogen tia ngắn, được đặt trong ống thạch anh có độ tinh khiết cao. Thạch anh có khả năng chịu được sự thay đổi nhiệt độ tốt, đồng thời giúp duy trì nguồn nhiệt ổn định. Các linh kiện halogen giúp giữ cho sợi dây tóc bên trong ổn định theo thời gian, từ đó đảm bảo rằng quá trình xử lý diễn ra đều đặn. Ống thạch anh sử dụng loại kết nối R7s – kiểu kết nối hai chân, giúp đảm bảo kết nối tốt, chịu được sự thay đổi nhiệt độ, và giúp việc thay thế bóng đèn trong quá trình bảo trì trở nên dễ dàng hơn.
Hiệu suất thực tế
Trong quá trình sản xuất, việc xử lý bề mặt wafer cần phải diễn ra nhanh và đều đặn, để chất bảo vệ bề mặt wafer có thể khô ráo trước khi tiến hành quá trình chiếu sáng. Thiết bị gia nhiệt của chúng tôi mang lại nguồn nhiệt ổn định và chính xác, giúp quá trình xử lý diễn ra thuận lợi. Kích thước nhỏ của thiết bị giúp việc tích hợp nó vào các hệ thống hiện có trở nên dễ dàng. Tuy nhiên, do nguồn nhiệt rất mạnh, hệ thống làm mát và luồng khí cần được thiết lập một cách cẩn thận để duy trì nhiệt độ ổn định xung quanh bóng đèn. Chúng tôi tin tưởng vào thiết bị này vì nó có khả năng duy trì nhiệt độ cần thiết ngay cả sau nhiều lần sử dụng. Nếu bạn muốn thử nghiệm thiết bị này trên dây chuyền sản xuất của mình, chúng tôi sẵn sàng cung cấp các thông số kỹ thuật để bạn có thể đánh giá hiệu suất của nó.