Wafer’lerinizi temiz tutmak: Ozosuz kızılötesi lambalar hakkındaki gerçekler
Yüksek hacimli yarı iletken üretim tesislerinde lamba arızaları büyük bir felaket anlamına gelir. Sadece üretimin durması değil, aynı zamanda silikon waferler üzerindeki kuvars tüplerin patlaması sonucu her yerde cam parçaları ve kimyasal kalıntılar oluşur. Bu durum tam anlamıyla bir kaos yaratır ve üretim verimliliğini anında yok eder.
Biz de bunun önüne geçmek için ozosuz kızılötesi lambalar geliştirdik.
Ozonun sorunu
Çoğu standart kısa dalga boylu kızılötesi lamba, 185 nm ile 254 nm arasındaki dalga boylarında radyasyon yaymaktadır. Sorun şu ki, bu radyasyon oksijenle reaksiyona girerek ozon oluşturur. Temiz odalarda ozon ise oldukça zararlı bir madde olarak kabul edilir.
Bunu çözmek için dopinglenmiş filamentler ve özel kuvars malzemeler kullanıyoruz. Böylece ışık spektrumu değiştirilir ve ozon üreten dalga boyları ortadan kalkar. Böylece hem kurutma işlemi için gerekli olan ısı elde edilir, hem de çevreye zarar veren kimyasallardan kaçınılmış olur.
Kırılmanın önlenmesi
Çoğu tüp, termal şok nedeniyle patlar; yani soğuktan sıcağa ani geçişleri kaldıramazlar. Biz yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Bu malzemenin genleşme oranı çok düşüktür; bu sayede güç değişiklikleri sırasında bile kırılmaz. Ayrıca, her şeyi bir arada tutan koruyucu bir kaplama da ekledik. Eğer kuvars kırılırsa, bu kaplama her şeyi bir arada tutar ve parçaların wafer’lerin üzerine düşmesini engeller.
Isı konusu
Burada önemli olan şu: Yüksek güçler küçük bir alandan geçtiğinde, lamba tutucuları bunun etkisini hisseder. Lambalarımız yüksek yükler için tasarlanmıştır, ancak soğutma sistemlerinizin bununla başa çıkabileceğinden emin olmalısınız. Eğer hava akışı yetersizse, lambalar aşırı ısınır ve contalar hasar görür. Bu basit bir fizik problemidir, ancak birçok insan burada hata yapar. Kuvarsın saflığına ve lambanın yapısına odaklanarak, parçacık oluşumunu azaltmayı başardık. Böylece lambalar, yüksek yükler altında bile sağlam kalır.