Üretim alanında, termal etkiler ürün kalitesini olumsuz etkiliyor. Fotoresistanın kurutulması sırasında wafer üzerinde meydana gelen 0,5°C’lik sıcaklık farkları veya buharlaştırma işlemi sırasında lambanın yetersiz performans göstermesi, tekrarlanabilir olması gereken işlemleri belirsiz hale getiriyor. Bu belirsizliği ortadan kaldırmak için Evatec buharlaştırıcı lambalarını geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Lamba, kuvars kılıfın içinde kısa dalga boylu halojen yayıcılar kullanır; böylece saniyeler içinde hızlı ve doğrudan ısı sağlanır. Waferin tamamında sıcaklık düzeyi ±0,1°C civarında sabit kalır ve yumuşak kurutmadan sert kurutmaya kadar tüm süreçlerde sıcaklık tekrarlanabilirliği yüksektir. Tasarım sayesinde parçacık oluşumu engellenir ve temiz oda sınıfları 1–100 arasında sabit kalır. Lamba 24/7 çalışır ve beklenmedik arızalar olmaz; ayrıca 5.000 saatten fazla süre boyunca çıkış gücü stabil kalır – %5’ten daha az düşüş olur.
Pratikte neden işe yarar?
Waferleri temizledikten sonra kurutmak, fotoresistleri kontrol altında kurutmak, paketleme sırasında malzemeleri sertleştirmek veya son durulama ve kurutma işlemleri yapmak gibi durumlarda bile termal denge korunur. Yüksek düzeydeki sıcaklık tutarlılığı, kenar kusurlarının azalmasına, yeniden işlemlerin azalmasına ve litografi işlemlerinde hassas boyut kontrolünün sağlanmasına yardımcı olur. Hızlı tepki süresi ise işlem sürelerini kısaltırken, stabil çıkış gücü de atık miktarını azaltır ve lambanın ömrünü uzatır – böylece daha az değiştirme gerekiir ve her wafer için daha az enerji harcanır.
Bilmeniz gerekenler:
Kurulum sırasında cihazın bağlantı arayüzünün uygun olup olmadığına ve reflektörün odanın açıklığıyla uyumlu olup olmadığına dikkat edilmelidir. Çıkış yoğunluğu belirli buharlaşma oranlarına göre ayarlanır; bu yüzden farklı makinelerde lambaların değiştirilmesi gerektiğinde ayarların hızla yeniden yapılandırılması gerekir. Değişiklikten sonra, düzgün bir çalışma profili elde etmek için kısa bir test ve termal kontrol yapılmalıdır.