MEMS yongalarını kuruturken güvenliği sağlama Gerçek şu ki, kimyasal temizlemeden sonra MEMS sensör yongalarını kurutmak, adeta ateşle oynamak...

300 mm’lik bir hatta, kurutma sırasında 0.1°C’nin altındaki bir sapma, kritik bir boyutu nanometrelerle kaydırmaya yeter ve aynı zamanda partikül...