Litografide, fotoresistin ısıtılması sırasında meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik bile, kritik boyutları nanometreler cinsinden etkileyebilir ve böylece birçok waferin atık haline gelmesine neden olabilir. R7s’in kızılötesi ısıtıcı lambası, ısının sadece gerekli olduğu yerde yayılmasını sağlayacak şekilde tasarlanmıştır.
Önemli olanlar
R7s, kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlarla fotoresisti ve yüzeyi ısıtarak ısıyı doğrudan iletim sağlar. Ayar noktası hızla belirlenir ve sabit kalır. Waferin her yerindeki sıcaklık uyumu ±0,1°C olarak belirlenmiştir; bu da tekrarlanabilir sonuçların elde edilmesini sağlar.
Kvantz kaplaması ve iç filaman düzenlemesi, her seferinde parçacık oluşumunu engelleyecek şekilde tasarlanmıştır. Class 1–100 temiz odalarda bu sayede parçacık sayısı sabit kalır. Ayrıca, 5.000 saatten fazla kullanım süresince %5’ten daha az düşüşle stabil bir performans elde edilir; yani sürekli yeniden kalibrasyon yapmadan 24/7 çalışma mümkündür.
Neden litografi sürecine uygundur?
Litografi işlemleri, sıkı bir termal kontroller bütünü üzerine kuruludur. Aşırı ısıtma, çözücünün dışarı atılmasına ve viskozitenin değişmesine neden olur. Yetersiz ısıtma ise kenarlarda damlalar oluşmasına neden olur. R7s sayesinde sıcaklık ve zaman üzerinde daha iyi kontrol sağlanır; böylece her parti aynı şekilde üretilir.
Bu tür tekrarlanabilirlik, yeniden işleme ihtiyacını azaltır, verimi artırır ve işlem süresini kısaltır. Ayrıca, hızlı tepki süresi ve düşük kayıplar sayesinde daha az enerji kullanılır. Uzun kullanım ömrü ise daha az arıza ve duruş süresi anlamına gelir.
Dikkat edilmesi gerekenler
R7s, standart R7s soketleri için tasarlanmıştır; ancak aydınlatma armatürünün de buna uygun olması gerekir. Yansıtıcı geometrisi ve hava akışı, ±0,1°C’lik uyumu sağlayacak şekilde ayarlanmalıdır. Ayar noktasının sabitlenmesi için kısa bir ısınma süresi vardır; bu nedenle aydınlatma armatürünün kaplama/yol kontrol cihazıyla uyumlu olması gerekir.
En tutarlı sonuçlar için, lambayı kalibre edilmiş bir sıcaklık sensörü ve gerilim değişikliklerini telafi edebilen bir kontrol cihazı ile birlikte kullanın.