Üretim alanında litografi işlemi kendi hızında ilerler; işlem devam ederken durdurulamaz. Eğer foto dirençlerin ısıl işlemi sırasında sıcaklık değişiklikleri olursa, kritik boyutlarda değişiklikler meydana gelir ve ürün kalitesi düşer. İhtiyaç duyulan şey, sabit bir sıcaklık sağlayan, wafer’in her yerinde eşit sıcaklık dağılımı sağlayan ve her seferinde aynı termal profili tekrarlayabilen bir sistemdir.
Teknik açıdan önemli olanlar Biz, süreç koşullarına uygun kısa dalga boylu kızılötesi kaynaklar kullanarak, foto dirençlerin ihtiyaç duyduğu yere hassas bir şekilde ısı uygulayan wafer ısıtıcıları kullanıyoruz. Wafer’in her yerinde sıcaklık uniformitesi ±0,1°C civarında olmalı ve ayarlanan sıcaklık değerlerinin tekrarlanabilirliği ise ±0,2°C olmalıdır. Böylece her parti aynı koşullarda işlenmiş olur. Kuvars tabanlı emiter tasarımı, parçacık oluşumunu sıfıra indirir ve Cleanroom Class 1–100 standartlarına uyum sağlar. A sınıfı sensörlerle kontrol edilen kapalı döngü kontrol sistemi, aşırı sıcaklık artışlarını 0,5°C’nin altında tutar; böylece hassas yapılar korunurken hızlı bir şekilde ısınma sağlanır.
Neden üretimde etkili? 7×24 saatlik çalışmalarda bu cihaz planlanmayan arızalar olmadan çalışır. Sürekli çalışma süresince hiçbir arıza yaşanmadı. Sahada elde edilen verilere göre, 5.000 saatten fazla kullanımda verimlilik kaybı %5’in altında kaldı ve sıcaklık değişiklikleri 0,1°C/1000 saat civarında kaldı. Bu da daha iyi CD kontrolü, daha az atık wafer ve planlanabilir bakım süreleri anlamına gelir. Hızlı ısıtma süreci, profil kontrolünü bozmadan işlem süresini kısaltır; böylece enerji tüketimi düşük kalırken verimlilik artar.
Pratik detaylar Kurulum için özel ve düzenlenmiş bir güç kaynağı ile uygun EMI koruması gereklidir ki kontrol döngüsü bozulmasın. Isıtıcı standart OEM istasyonlarına monte edilebilir, ancak termal arayüzün uyumlu olması gerekir; aksi takdirde mikro düzeyde eşitsizlikler ortaya çıkar. Parametreleri sabitlemek için kısa bir test süreci yapılmalıdır; bunu yaptıktan sonra işlem her vardiyada aynı şekilde devam eder.