Waarom een heater nodig is voor het zacht bakken
Wij maken verwarmings-elementen die speciaal zijn ontworpen voor het zacht bakken in de fotolitografieprocesen, vooral voor de beginfase van de waferproductie. Het doel is simpel: de warmte moet precies op de juiste plek worden gebracht wanneer de fotoresist wordt gehard.
Eén graad verschil kan namelijk betekenen dat een hele lading producten niet goed wordt verwerkt. Daarom hebben we onze heaters ontworpen met behulp van hoogdichte halogeenbuizen. Deze buizen leveren een constante en reproduceerbare hoeveelheid warmte op, precies waar het nodig is – en nergens anders.
Stroom, spanning en ruimte
Deze heaters zijn ontworpen voor kleine ruimtes. Ze werken op hoge spanning en hebben een hoge dichtheid, zodat ze in een kleine ruimte passen zonder dat de prestaties verslechteren.
Een invoerspanning van 400V zorgt ervoor dat je genoeg vermogen krijgt in een compacte vorm – denk aan een kwartsbuis van 300 mm. Door deze spanning te kiezen, neemt de stroom af. Hierdoor hoef je geen grote geleiders te gebruiken, en blijft het verbindingselement koel.
Met 2500W kun je snel reageren op veranderingen in de processen, en blijft de gewenste temperatuur behouden, zelfs wanneer het apparaat onder druk staat.
De materialen die dit mogelijk maken
Binnenin zit een kortgolfhalogeenlamp, geplaatst in een kwartsbuis van hoge zuiverheid. Kwarts kan goed omgaan met thermische schokken en zorgt erbovenop voor een constante straling. De halogeenlamp zorgt er ook voor dat het filament op de lange termijn stabiel blijft, zodat de temperatuur consistent blijft.
De buis maakt gebruik van een R7s-aansluiting – een dubbele pinconectie die een goede verbinding mogelijk maakt, bestand is tegen thermische schokken, en het gemakkelijk maakt om de lamp tijdens het onderhoud te vervangen.
De praktische aspecten
In de fabriek moet het zacht bakken snel en gelijkmatig plaatsvinden, zodat de fotoresist op tijd hard wordt. Onze heater zorgt hiervoor dankzij een sterke straling en nauwkeurige controle. De compacte afmetingen maken het gemakkelijk om de heater te integreren in bestaande apparaten.
Er is echter ook een nadeel: omdat de warmte zo intensief is, moeten de koelingssystemen en luchtcirculatie goed geconfigureerd zijn, zodat de omgeving rondom de lamp op de juiste temperatuur blijft. We vertrouwen op deze configuratie, omdat deze de gewenste temperatuur behoudt, zelfs na herhaalde gebruikscycli.
Als je wilt testen of de heater in jouw productielijn kan worden gebruikt, kunnen we de specificaties meesturen, zodat jij zelf kunt zien of het werkt.