Lithografie zachte baktemperatuurrelement
Waarom een heater nodig is voor het zacht bakken
Wij maken verwarmings-elementen die speciaal zijn ontworpen voor het zacht bakken in de...
Een lamp voor het bakken van uniforme fotoresisten
Op de lithografieafdeling bepalen de ‘soft bake’ en ‘hard bake’-procedures of het profiel van de fotoresist goed wordt gecreëerd of niet. Als de...
Diepe UV (DUV) resist baklamp
Op de lithografievloer weet je hoe het werkt: een bake die zelfs maar een halve graad afwijkt, gooit de CD-controle uit de specificaties. Je laat...