Op de lithografieafdeling is een verschil van 2°C in de temperatuur tijdens het bakproces voldoende om de cruciale afmetingen van de producten met enkele nanometers te veranderen. Hierdoor kunnen veel wafers niet meer worden gebruikt. De R7s-infraroodverwarmer is ontworpen om de warmte alleen op de juiste plek te concentreren – namelijk waar het nodig is – en niet overal rondom.
Wat belangrijk is onder de motorkap
De R7s gebruikt kortegolflengte-infraroodlicht om de fotoresist en het substraat te verwarmen. Hierdoor wordt de warmte direct overgedragen aan de gewenste plekken. De ingestelde temperatuur blijft stabiel. Op het oppervlak van het bakproces moet de temperatuur minimaal ±0,1°C variëren. Dit zorgt ervoor dat de resultaten steeds hetzelfde zijn, batch na batch.
Het kwartsomhulsel en de interne filamenten zijn zo ontworpen dat er geen deeltjes vrijkomen wanneer de temperatuur wordt verhoogd. In schone kamers van klasse 1–100 zorgt dit er ook voor dat het aantal deeltjes stabiel blijft. Bovendien blijft de prestatie van de verwarmer stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling in prestaties. Dit betekent dat de verwarmer 24/7 kan werken zonder dat er regelmatig moet worden gekalibreerd.
Waarom dit past bij het lithografieproces
Bij lithografie is het belangrijk om de temperatuur nauwkeurig onder controle te houden. Te lang bakken zorgt er namelijk voor dat oplosmiddelen verdwijnen en de viscositeit verandert. Te kort bakken zorgt weer voor problemen met de kwaliteit van het product. Met de R7s hebt u meer controle over de temperatuur en tijd, zodat hetzelfde resultaat wordt behaald, batch na batch.
Dit soort reproduceerbaarheid zorgt voor minder herwerkwerk, een hogere opbrengst en kortere cyclustijden. Ook wordt er minder energie gebruikt, omdat de reactietijd kort is en de verliezen laag zijn. Bovendien leidt de lange levensduur tot minder onderhoud en minder stilstand van de machine.
Wat je in gedachten moet houden
De R7s is ontworpen voor standaard R7s-aansluitingen. Echter, de bevestigingsstructuur moet goed passen; de geometrie van de reflectoren en de luchtcirculatie moeten overeenkomen met het thermische profiel van de lamp, zodat de temperatuur binnen ±0,1°C blijft. Er is een korte opwarmtijd nodig voordat de temperatuur stabiel is. Pas de installatie dus aan op de sequentie van de coating- en controleapparaten.
Voor de meest consistente resultaten moet de verwarmer worden gecombineerd met een gekalibreerde temperatuursensor en een controller die kan compenseren voor schommelingen in de netspanning.