Op de productielijn heeft thermische drift een negatief effect op de kwaliteit van het eindproduct. Een temperatuurschommeling van 0,5°C op het chip vlak tijdens het verhitten van de fotoresist, of een lamp die niet goed functioneert tijdens het verdampingsproces, kan ervoor zorgen dat een proces dat normaal gesproken reproduceerbaar zou moeten zijn, onvoorspelbaar wordt. We hebben de Evatec-verdampingslamp ontwikkeld om deze onzekerheden weg te nemen.
Wat technisch gezien belangrijk is: De lamp maakt gebruik van een halogeenemitter met kortegolfstraling, geplaatst in een kwartsomhulling. Hierdoor wordt er snel en rechtstreeks warmte gegenereerd, met een reactietijd van minder dan een seconde. Op het actieve gebied blijft de temperatuur gelijkmatig op ±0,1°C. De temperatuurreproductie blijft stabiel, zowel tijdens het zachte als het harde verhitten. Het apparaat werkt zonder storingen, zodat de concentratie stofdeeltjes in de zuiverruimte binnen de gewenste grenzen blijft. De lamp kan 24/7 worden gebruikt, zonder onverwachte stilstand. De prestaties blijven stabiel gedurende meer dan 5.000 uur – met minder dan 5% daling in prestaties.
Waarom het in praktijk werkt: Of je nu chips na het reinigen droogt, de fotoresist behandelt met een gecontroleerd verhittingsproces, encapsulanten in verpakkingen hard maakt of de chips uiteindelijk spoelt en droogt: de thermische condities blijven constant. Een constante temperatuur zorgt voor minder defecten aan de randen van de chips, minder herwerkzaamheden en betere controle over de belangrijkste afmetingen tijdens het lithografieproces. De snelle reactietijd verkort de tijd die nodig is voor het proces, terwijl de stabiele prestaties zorgen voor minder afval en een langere levensduur van de lamp – minder vervangingen en minder energieverbruik per chip.
Wat je moet weten: Voor de installatie moet de aansluiting van de lamp worden vergeleken met die van de rest van het apparaat. Ook moet worden gecontroleerd of de reflectoren op de juiste manier zijn geplaatst. De uitgangsdichtheid van de lamp kan worden aangepast aan de gewenste verdampingsnelheid. Wanneer de lamp wordt vervangen door een andere, moet de instelling snel worden aangepast. Na de vervanging is het belangrijk om een korte test uit te voeren om de uniformiteit van de temperatuur te controleren.