적외선 램프가 웨이퍼를 파괴하는 것을 막으세요.
고부하 생산 과정에서는 적외선 가열 램프에 엄청난 부담이 가해집니다. 결국 램프가 고장 나거나, 최악의 경우 가열 챔버 내부에서 폭발하기도 합니다. 그러면 석영 조각들과 필라멘트의 잔해들이 여기저기 흩어지게 됩니다. 이로 인해 현재 작업 중인 웨이퍼가 망가질 뿐만 아니라, 청소를 위해 전체 생산 라인을 멈춰야 하므로 하루 종일 일을 할 수 없게 됩니다.
“폭발” 문제 해결법
진짜 문제는 열충격입니다. 석영 커버에 약간의 불순물이 있거나 벽면이 완전히 평평하지 않으면, 열로 인해 유리가 불균등하게 팽창합니다. 그러면 균열이 생기는 것입니다.
우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이를 통해 균일하게 팽창시켜 빠른 주기의 가열도 견딜 수 있도록 합니다.
하지만 솔직히 말해서, 그래도 램프가 깨질 수 있습니다. 그래서 우리는 램프 주위에 보호용 커버를 설치합니다. 이는 마치 안전망과 같은 역할을 합니다. 만약 내부 램프가 폭발해도, 잔해들은 커버 안에 갇혀 있게 되므로 실리콘 웨이퍼가 손상되는 것을 막을 수 있습니다.
장기적인 사용을 위한 준비
안정성을 유지하기 위해 우리는 할로겐 필라멘트를 사용합니다. 이를 통해 텅스텐이 증발하여 내벽이 흐려지는 것을 방지할 수 있으며, 따라서 수천 시간 동안 일관된 열 출력을 유지할 수 있습니다. 또한 강화된 엔드 캡을 사용하여 가스가 새어나가는 것을 막습니다. 그렇지 않으면 램프가 너무 빨리 고장 납니다.
타협점
문제는, 보호용 커버를 사용하면 적외선의 전달이 약간 차단된다는 점입니다. 그로 인해 약간의 직접적인 열이 손실됩니다. 이는 치명적인 문제는 아니지만, 몇 가지를 조정해야 합니다. 램프의 와트수를 높이거나, 가열기를 웨이퍼에 더 가까이 배치하는 것도 좋은 방법입니다. 단, 냉각팬이 증가된 열을 감당할 수 있도록 해야 합니다. 그렇지 않으면 프레임이 변형될 수 있습니다.