단 하나의 램프만 고장 나도 전체 생산 공정이 망가지는 것을 막아야 합니다.
고부하가 걸리는 생산 환경에서 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그건 진짜 악몽과 같은 상황입니다.
진공 챔버 내부에서 석영관이 깨지면, 그냥 고장 난 램프만 있는 것이 아닙니다. 유리 조각들과 금속 필라멘트들이 사방으로 튀어나와 웨이퍼를 오염시키게 됩니다. 정말 엉망이 되는 것입니다. 게다가 비용도 엄청납니다.
바로 이러한 이유 때문에 우리는 진공 적외선 히터를 이런 방식으로 설계하는 것입니다.
혼란을 제어하기 위해
우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이렇게 하면 급격한 가열 및 냉각에도 균열이 생기지 않습니다. 하지만 거기서 그치지 않습니다.
보호용 커버나 특수한 격자结构를 추가하여 혼란을 방지합니다. 마치 안전망과 같은 역할을 하는 것입니다. 만약 필라멘트가 고장 나서 석영관이 깨진다 해도, 파편들은 커버 안에 갇혀 있어 챔버 내부로 튀어나오지 않습니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 깨끗하게 유지됩니다.
열의 균형을 맞추는 것
고밀도 가열의 핵심은 균형입니다. 충분한 전력이 필요하지만, 석영관의 벽면이 너무 뜨거워지면 안 됩니다.
전압과 와트수에 대해서도 매우 신중하게 설정합니다. 만약 더 빠른 가열을 위해 램프의 한계를 넘어서려고 한다면, 석영관이 손상될 수 있습니다. 그러니 반드시 전력 공급 장치가 우리가 지정한 사양에 맞아야 합니다. 그렇게 하면 석영관이 손상되지 않습니다.
깨끗함을 유지하기 위해
우리는 램프에 사용되는 소재에 대해 매우 신경을 씁니다. 저렴한 접착제나 유기물 코팅제는 사용되지 않습니다. 왜냐하면 그런 것들은 진공 상태에서 증발하여 웨이퍼 표면에 남게 되기 때문입니다.
또한, 램프의 양쪽 끝도 고급 세라믹으로 밀봉됩니다. 그래서 누수가 없으며 예상치 못한 문제도 발생하지 않습니다.
솔직한 타협점
솔직히 말해서, 보호용 커버를 사용하면 적외선의 전달률이 약간 줄어듭니다.
따라서 원하는 열 분포를 얻기 위해서는 전력을 조절하거나 램프와 기판 사이의 거리를 조정해야 할 수도 있습니다.
하지만 이는 작은 대가일 뿐입니다. 약간의 효율성을 잃더라도, 하드웨어 고장으로 인해 전체 생산 공정이 망가지는 것을 막을 수 있다는 점에서는 큰 장점입니다.