팹용 R7s 적외선 가열 전구

리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 가열할 때 온도가 2°C만 변동해도 치명적인 결과가 발생할 수 있습니다. 이로 인해 많은 웨이퍼들이 폐기될 수 있습니다. R7s의 적외선 히팅 bulb은 열이 특정 영역에만 집중되도록 설계되어 있어, 열이 고르게 분산되는 것을 방...