MEMS 웨이퍼를 건조할 때 안전을 유지하는 방법
현실적으로 말하자면, 화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 마치 불장난과 같습니다. 가열 요소가 가연성이 있고 폭발성인 기체들 바로 옆에 위치해 있기 때문입니다. 일반적인 적외선 램프를 사용한다면 문제가 생길 수밖에 없습니다.
그래서 우리는 특별한 방식으로 IR 히터를 설계합니다. 화학물질이 히터의 필라멘트를 손상시키지 못하도록 특수한 코팅을 적용하고, 무엇보다도 불이 붙는 것을 방지합니다.
비결은 밀봉에 있습니다.
우리는 밀폐된 석영 커버와, 강한 화학물질에도 견딜 수 있는 코팅을 사용합니다. 이를 통해 전기 접점이 공기와 완전히 분리되도록 합니다. 또한, 연결 부분에는 고품질의 에폭시나 글래스-투-메탈 실란트를 사용하여 휘발성 유기화합물이 램프 내부로 들어오는 것을 막습니다.
만약 밀봉이 실패하여 필라멘트가 타버린다면, 그 작은 불꽃만으로도 화재가 발생할 수 있습니다. 우리는 이런 상황을 방지하기 위해 특별한 밀봉 공정을 적용했습니다.
열과 안전의 균형
이 히터들은 강력한 단파 복사열을 발생시켜 웨이퍼를 빠르게 건조시킵니다. 하지만 기판이 손상되지 않도록 주의해야 합니다. 표면 온도를 화학물질의 발화점 이하로 유지하기 위해 와트수를 조절합니다.
빠른 증발 효과를 얻을 수 있지만, 공기 흐름에도 주의해야 합니다. 이 램프들은 매우 뜨거워집니다. 만약 배기 시스템이 제대로 작동하지 않으면, 챔버 내부에 열이 축적되어 위험한 상황이 될 수 있습니다.
유지보수의 번거로움 없음
수리에 시간을 낭비하고 싶지 않아서, 우리는 이 장비들을 “그대로 교체 가능한” 형태로 만들었습니다.
전선은 위험한 환경에서도 사용할 수 있도록 설계되었으며, 수백 번의 가열循环 후에도 균열이 생기지 않습니다. 또한, 시간이 지나면서 헐거워지는 연결 부품들도 사용하지 않았습니다. 대신, 흔들림에 강한 안전한 연결 부품을 사용합니다.
이렇게 함으로써 전기 아크가 발생할 위험을 완전히 없앨 수 있습니다. 교체가 필요할 때는 그냥 램프만 교체하고 연결 부품을 조이면 됩니다. 복잡한 재설치 작업이 필요 없습니다.