과열된 램프로 인해 웨이퍼의 생산성이 저하되는 것을 막으세요
고부하의 CNT 제조 공정을 운영하는 경우라면 그 스트레스를 잘 알고 있을 것입니다. 그러한 적외선 램프들은 24시간 내내 작동합니다. 하지만 가장 끔찍한 상황은 램프가 파손되는 것입니다.
이렇게 되면 생산 라인이 멈추는 것은 물론, 웨이퍼에 석영 조각과 할로겐 가스가 튀어나와 웨이퍼가 손상됩니다. 그러면 웨이퍼의 생산성은 사라지고, 엄청난 청소 작업이 필요해집니다.
왜 램프가 파손되는가?
CNT 성장에 필요한 온도를 만들기 위해 이 램프들은 극도로 높은 온도에서 작동합니다. 문제는 바로 열충격입니다. 석영에 아주 작은 결함이 있거나, 전력 공급이 너무 급격하게 증가하면 석영이 파손됩니다. 이런 일은 생산 속도를 유지하기 위해 장비를 한계까지 사용할 때 자주 발생합니다. 이는 항상 걱정거리입니다.
우리가 어떻게 해결했는가?
우리는 더 이상 운에 맡기는 대신, 보호 장치를 추가하기로 결정했습니다. 우선 고순도의 합성 석영을 사용했습니다. 이 석영은 빠른 주기로 작동해도 깨지지 않도록 설계되었습니다.
하지만 진짜 해결책은 바로 보호 커버입니다. 우리는 가열 요소를 추가적인 고온 석영 커버로 감쌌습니다. 이 커버는 마치 안전망과 같은 역할을 합니다. 내부의 램프가 파손되더라도, 이 커버가 모든 파편을 잡아줍니다. 그래서 웨이퍼는 손상되지 않고, 진공 상태도 유지됩니다.
현실적인 타협점
물론, 무언가를 추가한다는 것은 비용이 듭니다. 보호 커버를 사용하면 방사열이 약간 차단됩니다. 커버가 적외선을 일부 흡수하기 때문에 에너지 손실이 발생합니다. 따라서 전력 설정을 조절하거나 웨이퍼가 머무는 시간을 조금 늘려야 할 수도 있습니다.
속도가 조금 느려질 수도 있지만, 하나의 램프가 고장 나서 전체 웨이퍼를 버리는 것보다는 낫습니다. 저는 언제나 이 선택을 할 것입니다.
마지막으로, 정밀한 PID 제어를 사용하는 것이 중요합니다. 보호 커버가 있더라도, 전압을 너무 빠르게 올리면 필라멘트에 부담이 갑니다. 전력을 조심스럽게 조절한다면, 이 장비들은 훨씬 오래 사용될 수 있습니다.