आईआर हीटिंग बनाम हॉट एयर: आप अपने वेफरों को किस तरीके से गर्म करना चाहते हैं?

यदि आप वेफरों के प्रसंस्करण हेतु हॉट एयर सिस्टम के बजाय इन्फ्रारेड (IR) हीटिंग का उपयोग करना चाहते हैं, तो वास्तव में आप ऊष्मा को वेफर तक पहुँचाने की प्रक्रिया को ही बदल रहे हैं।
हॉट एयर सिस्टम में, हवा को गर्म करके उसे कक्ष में फैलाया जाता है… और फिर इंतज़ार किया जाता है कि हवा अपनी ऊष्मा वेफर तक पहुँचा दे। यह प्रक्रिया धीमी है… ऐसे में वेफर तक ऊष्मा पहुँचने में देर होती है।
आईआर हीटिंग में ऐसा नहीं है… यह तो विकिरण है… ऊष्मा सीधे ही वेफर तक पहुँच जाती है… हवा जैसे “मध्यस्थ” की आवश्यकता ही नहीं है।
समय की महत्ता
जब आप हॉट एयर का उपयोग करते हैं, तो आपको ऊष्मा की धीमी गति से निपटना पड़ता है… हवा एवं कक्ष की दीवारें बहुत सारी ऊष्मा अवशोषित कर लेती हैं… इसलिए आपको वांछित तापमान तक पहुँचने में कई मिनट लग जाते हैं।
लेकिन आईआर लैंपों के मामले में, ऊष्मा कुछ ही सेकंडों में ही वेफर तक पहुँच जाती है। यह तो त्वरित थर्मल प्रसंस्करण हेतु बहुत ही उपयोगी है… जब आपको किसी रासायनिक अभिक्रिया को तेज़ी से पूरा करना हो, या किसी सतह को गर्म करना हो, तो ऐसी स्थिति में आईआर हीटिंग ही बेहतर विकल्प है।
दूरी का महत्व
आप आईआर लैंप को बस एक सामान्य हीटर की तरह नहीं इस्तेमाल कर सकते… लैंप एवं वेफर के बीच की दूरी बहुत ही महत्वपूर्ण है… यदि दूरी बहुत कम हो, तो वेफर पर “हॉट स्पॉट” बन जाते हैं… जिससे वेफर विकृत हो जाता है… लेकिन यदि दूरी बहुत ज्यादा हो, तो ऊष्मा की तीव्रता कम हो जाती है… इसलिए दूरी को सही रखना आवश्यक है।
विकल्प
आईआर हीटिंग तो तेज़ है… लेकिन यह हमेशा “समान” तरीके से काम नहीं करती… जबकि हॉट एयर सिस्टम में सब कुछ समान रूप से गर्म हो जाता है… आईआर हीटिंग में वेफर के किनारे तेज़ी से गर्म हो जाते हैं… इस समस्या को दूर करने हेतु, आपको विशेष उपाय करने होंगे… जैसे कि विशेष हीटिंग सिस्टम या घूमने वाला सब्सट्रेट।
शीतलन प्रणाली
आईआर लैंपों से बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… यदि आपकी शीतलन प्रणाली ठीक से काम न करे, तो लैंप का हाउसिंग भी नष्ट हो सकता है… यह तो कोई अच्छा विकल्प नहीं है।

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