ऑफ्ट-बेक प्रक्रिया हेतु विशेष रूप से डिज़ाइन किए गए हीटर क्यों आवश्यक हैं?
हम लिथोग्राफी प्रक्रिया हेतु ऐसे हीटर बनाते हैं; खासकर वेफर निर्माण की प्रक्रिया में। इसका उद्देश्य बहुत ही सरल है – फोटोरेसिस्ट सूखने के दौरान ऊष्मा को ठीक उसी जगह पर बनाए रखना।
वास्तव में, थोड़ी सी भी त्रुटि से पूरी बैच की उत्पादन प्रक्रिया विफल हो सकती है।
इसलिए हमने ऐसे हीटरों को उच्च-घनत्व वाली हैलोजन ट्यूबों के आधार पर डिज़ाइन किया है। ये ट्यूबें ठीक उसी जगह पर स्थिर ऊष्मा प्रदान करती हैं, जहाँ इसकी आवश्यकता है।
बिजली, वोल्टेज एवं स्थान
ये हीटर सीमित स्थानों में भी इस्तेमाल किए जा सकते हैं। ये उच्च वोल्टेज एवं उच्च घनत्व पर काम करते हैं; इसलिए ये छोटे स्थानों में भी इस्तेमाल किए जा सकते हैं, बिना प्रदर्शन में कोई कमी आए।
400V इनपुट से आवश्यक वॉटेज प्राप्त होता है; और यह वॉटेज 300 मिमी लंबी क्वार्ट्ज ट्यूब में ही प्राप्त होता है।
इस वोल्टेज के कारण करंट कम रहता है; इसलिए मोटे कंडक्टरों की आवश्यकता नहीं होती, एवं टर्मिनल ब्लॉक भी ठंडा ही रहता है।
2500W की शक्ति से तेज़ गति से ऊष्मा प्रदान होती है, एवं प्रक्रिया के दौरान भी तापमान स्थिर रहता है।
इन हीटरों के आयाम मानक लिथोग्राफी हार्डवेयर के अनुरूप ही हैं; इसलिए इन्हें सीधे ही उपयोग में लाया जा सकता है।
ऐसा कैसे संभव है?
इन हीटरों में उच्च-शुद्धता वाली क्वार्ट्ज ट्यूबों में शॉर्टवेव हैलोजन तत्व होते हैं। क्वार्ट्ज थर्मल शॉक को अच्छी तरह संभालता है, एवं ऊष्मा का स्रोत भी स्थिर रहता है। हैलोजन तत्व समय के साथ भी फिलामेंट को स्थिर रखता है; इसलिए तापमान भी स्थिर रहता है।
इन हीटरों में R7s कनेक्टर होता है – यह डिज़ाइन ठोस संपर्क सुनिश्चित करता है, थर्मल साइकलिंग को सहन करता है, एवं रखरखाव के दौरान लैंप को आसानी से बदला जा सकता है।
हम इन हीटरों को उच्च तापमान पर भी इस्तेमाल करते हैं; इसलिए सॉकेट एवं वायरिंग भी उच्च तापमान के लिए ही डिज़ाइन की गई हैं।
वास्तविक उपयोग में कैसा लगता है?
फैक्ट्री में ऑफ्ट-बेक प्रक्रिया जल्दी एवं समान रूप से होनी आवश्यक है; ताकि फोटोरेसिस्ट उचित समय पर ही सूख जाए। हमारे हीटर ऐसा ही करते हैं – वे घनत्वपूर्ण ऊष्मा प्रदान करते हैं, एवं तापमान पर भी नियंत्रण रखते हैं।
इन हीटरों का आकार छोटा होने के कारण इन्हें मौजूदा कोटर/बेक ट्रैकों में आसानी से एकीकृत किया जा सकता है।
लेकिन एक नुकसान भी है – चूँकि ऊष्मा बहुत ही घनी होती है, इसलिए लैंप के आसपास के क्षेत्र का तापमान नियंत्रित रखने हेतु उचित शीतलन व्यवस्था आवश्यक है।
हम इस व्यवस्था पर भरोसा करते हैं – क्योंकि यह बार-बार होने वाली प्रक्रियाओं में भी तापमान को स्थिर रखती है।
यदि आप इन हीटरों का परीक्षण अपनी लाइन में करना चाहते हैं, तो हम आपको इनकी विशेषताएँ देंगे, एवं आंकड़े ही सब कुछ बता देंगे।