फैब फ्लोर पर, थर्मल ड्रिफ्ट के कारण उत्पादन की गुणवत्ता प्रभावित होती है। फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया के दौरान वेफर पर 0.5°C का तापमान-अंतर, या वाष्पीकरण की प्रक्रिया में लाइट का धीमा रिस्पॉन्स, ऐसी प्रक्रियाओं को अनिश्चित बना देता है। हमने इस समस्या को दूर करने हेतु “इवेटेक एवापोरेटर हीटिंग लैंप” बनाया है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
इस लैंप में क्वार्ट्ज आवरण के अंदर शॉर्ट-वेव हैलोजन एमिटर होता है; इस कारण तेज़ एवं प्रत्यक्ष विकिरण उत्पन्न होता है। वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक रहती है, एवं सॉफ्ट बेक से लेकर हार्ड बेक तक तापमान में कोई बदलाव नहीं होता। इस डिज़ाइन में कोई अनचाहे तत्व उत्पन्न नहीं होते, इसलिए क्लीनरूम क्लास 1–100 में आवश्यक स्तर पर ही तापमान बना रहता है। यह लैंप 24/7 काम करता है, एवं 5,000+ घंटों तक इसका प्रदर्शन स्थिर रहता है – केवल 5% ही गिरावट होती है।
व्यावहारिक रूप से यह क्यों कारगर है?
चाहे वेफरों को साफ करने के बाद उन्हें सुखाना हो, फोटोरेजिस्ट को नियंत्रित तापमान पर सुखाना हो, पैकेजिंग में उपयोग होने वाले पदार्थों को सुखाना हो, या अंतिम चरण में वेफरों को धोना/सुखाना हो – हर स्थिति में तापमान नियंत्रित रहता है। ऐसी एकरूपता से कम दोष होते हैं, कम पुनर्कार्य होता है, एवं लिथोग्राफी में आवश्यक मापदंडों को बनाए रखना आसान हो जाता है। तेज़ रिस्पॉन्स से प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है, जबकि स्थिर आउटपुट से बर्बादी कम होती है, एवं लैंप का जीवनकाल बढ़ जाता है – कम रिप्लेसमेंट एवं प्रति वेफर कम ऊर्जा खर्च होती है।
आपको यह जानना आवश्यक है…
इस लैंप को इंस्टॉल करते समय, उसके कनेक्टर इंटरफेस को ठीक से मेल करना आवश्यक है, एवं रिफ्लेक्टर की संरचना को चेंबर के एपर्चर के साथ संरेखित करना आवश्यक है। आउटपुट घनत्व को विशिष्ट वाष्पीकरण दरों के अनुसार समायोजित किया जाता है; इसलिए विभिन्न मशीनों में लैंप बदलने हेतु सेटपॉइंटों को फिर से समायोजित करना आवश्यक है। बदलाव के बाद, एक्यूरेसी प्रोफाइल को सुनिश्चित करने हेतु थोड़ा समय देना आवश्यक है।