लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” वे चरण हैं, जिनमें फोटोरेजिस्ट की संरचना निर्धारित होती है। यदि वेफर पर तापमान समान न हो, तो वेफर की मोटाई में भिन्नता आ जाती है। ऐसी स्थिति में, एटचिंग के बाद वेफर की सतह पर असमानताएँ देखने को मिलती हैं, और वेफर बेकार हो जाता है।
प्रक्रिया में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने फोटोरेजिस्ट बेकिंग लैंप को शॉर्ट-वेव NIR एमिटर एरे के साथ बनाया है; इसमें कार्बन-फाइबर-रीइनफोर्स्ड क्वार्ट्ज विंडो भी शामिल है। यह वेफर पर तापमान को ±0.1°C तक संतुलित रखता है, जबकि चक्र-दर-चक्र तापमान में भिन्नता ±0.5°C तक ही रहती है। 16 सेंसरों वाला यह एरे, फोटोरेजिस्ट की संरचना को नियंत्रित करने में मदद करता है; इससे विलायक उचित तरीके से निकल जाता है। यह लैंप क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में 24/7 कार्य करता है, एवं इससे कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता; ऐसा इन-लाइन कण-गणना द्वारा सिद्ध होता है।
ऐसी सटीकता क्यों महत्वपूर्ण है?
“सॉफ्ट बेक” के कारण विलायक नियंत्रित तरीके से निकल जाता है, जबकि “हार्ड बेक” के कारण फोटोरेजिस्ट की संरचना स्थिर रहती है। इससे वेफर की चौड़ाई एवं साइडवॉल का कोण भी सही रहता है।
एटचिंग प्रक्रिया में क्या लाभ है?
एटचिंग प्रक्रिया में सुधार होता है – माइक्रो-लोडिंग के प्रभाव कम हो जाते हैं, पुनः कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं वेफर पर तापमान नियंत्रित रहता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि लैंप कुछ ही सेकंडों में निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है, एवं वहाँ ही रहता है।
स्थापना कैसे करें?
स्थापना आसान है; लेकिन विंडो को निर्धारित तापमान पर रखने हेतु 24VDC बिजली एवं स्वच्छ, शुष्क वायु की आवश्यकता है। यह लैंप अधिकांश कोटिंग/बेकिंग उपकरणों में उपयोग में आ सकता है; लेकिन प्रत्येक प्लेटफॉर्म हेतु उपकरण-विशिष्ट एडाप्टरों की आवश्यकता होती है।
पूरी बेकिंग प्रक्रिया हेतु तापीय योजना कैसे बनाएं?
लैंप का प्रदर्शन, चक एवं वेफर की ऊष्मा-भारता पर निर्भर है।