फैब्रिकेशन लेवल पर, फोटोरिजिस्ट को गर्म करना कोई वैकल्पिक प्रक्रिया नहीं है… बल्कि यह एक आवश्यकता है। सॉफ्ट बेकिंग के दौरान थोड़ा सा भी तापमान-परिवर्तन, क्रिटिकल डाइमेंशन कंट्रोल पर प्रभाव डालता है। हार्ड बेकिंग के दौरान तापमान में असमानता होने से उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित होती है। इसलिए ऐसे ओवन लैंपों की आवश्यकता है, जो हर शिफ्ट में स्थिर तापमान प्रदान कर सकें।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने इस सेमीकंडक्टर लैब ओवन लैंप को अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरणों के मानकों के अनुरूप ही डिज़ाइन किया है। क्वार्ट्ज में लगे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर, तेज़ प्रतिक्रिया एवं सटीक स्पेक्ट्रल नियंत्रण प्रदान करते हैं। इसके परिणामस्वरूप, बेकिंग के दौरान वेफर पर तापमान स्थिर रहता है… ±0.1°C के भीतर। 5,000+ घंटों तक भी यह स्थिरता बनी रहती है। ल्यूमेन एवं ऊर्जा में 5% से भी कम परिवर्तन होता है… इसलिए थर्मल बजट में कोई बदलाव नहीं होता।
बेकिंग प्रक्रिया में इसका क्या महत्व है?
यह लैंप फोटोरिजिस्ट प्रसंस्करण हेतु ही डिज़ाइन किया गया है… सॉफ्ट बेकिंग, हार्ड बेकिंग, एवं पोस्ट-एक्सपोज़र बेकिंग हेतु। इन प्रक्रियाओं में तापमान की सटीकता ही क्रिटिकल डाइमेंशन एवं लाइन-एज की गुणवत्ता को निर्धारित करती है। इससे विश्वसनीय परिणाम प्राप्त होते हैं… एवं बेकिंग प्रक्रिया भी अधिक सटीक रहती है।
इंस्टॉलेशन संबंधी विवरण
इंस्टॉलेशन हेतु उपकरण के कनेक्टर इंटरफेस का मिलान आवश्यक है… साथ ही ओवन के वोल्टेज एवं थर्मल लोड क्षमता की भी जाँच आवश्यक है। यह एक उच्च-तीव्रता वाला लैंप है… इसलिए इसकी सुरक्षा आवश्यक है… ताकि ऑपरेटरों एवं उपकरणों को कोई नुकसान न हो।
इंस्टॉलेशन के बाद क्या करना आवश्यक है?
इंस्टॉलेशन के तुरंत बाद, थोड़ी देर तक लैंप को चलाना आवश्यक है… ताकि इसका सही तापमान निर्धारित किया जा सके। इससे ओवन की ज्यामिति के अनुरूप ही तापमान सेट किया जा सकता है।