लिथोग्राफी फ्लोर पर, आपको प्रक्रिया पता है: एक बेक जो आधे डिग्री से भी भटकता है, CD नियंत्रण को मानक से बाहर कर देता है। आप DUV फोटोरेसिस्ट को सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक के माध्यम से चलाते हैं ताकि सॉल्वेंट को बाहर निकाला जा सके और प्रोफाइल को लॉक किया जा सके। यदि थर्मल बजट गलत है, तो रेखाएँ चौड़ी हो जाती हैं, किनारे की खुरदरापन बढ़ जाती है, और अचानक पूरा बैच लाल रंग में आ जाता है। DUV रेजिस्ट बेक लैंप उस परिवर्तनशीलता को खत्म करने के लिए मौजूद है।
अंदर की बात जो महत्वपूर्ण है हमने इस लैंप को शॉर्ट-वेव ऊर्जा को वहां डालने के लिए बनाया है जहां DUV रेजिस्ट वास्तव में इसे अवशोषित करता है, क्वार्ट्ज भागों के साथ जो स्पेक्ट्रम को स्थिर रखते हैं। चक के पार, वेफर-स्तरीय समानता ±0.1°C के भीतर बनी रहती है, इसलिए बैच में हर वेफर एक समान तापमान इतिहास देखता है। क्लीनरूम का व्यवहार बाद में विचार नहीं किया जाता—क्लास 1-100 स्थानों में कोई कण वृद्धि नहीं होती, और गर्म क्षेत्र में रखरखाव होता है ताकि आउटगैसिंग रेजिस्ट को संदूषित न कर सके। आउटपुट हजारों बेक चक्रों में दोहराया जाता है, और थर्मल मास का प्रबंधन इस तरह किया जाता है कि जब लाइन 24/7 चलती है, तो आपको भटकाव नहीं होता।
DUV लिथोग्राफी में यह क्यों टिकता है उपज उन प्रक्रिया विंडोज़ पर निर्भर करती है जिन्हें आप वास्तव में पकड़ सकते हैं। तंग थर्मल नियंत्रण CD विचलनों को कम करता है और ओवरले मार्जिन की रक्षा करता है, जिसका अर्थ है कम स्क्रैप और कम रीवर्क। लाइन-एंड शॉर्टनिंग स्थिर रहती है, और किनारे की खुरदरापन गिरती है क्योंकि बेक प्रोफाइल बैच के बाद बैच में दोहराता है। प्रभावशाली युग्मन और तेज स्थिरीकरण ऊर्जा उपयोग को नियंत्रित रखते हैं, और विश्वसनीयता प्रोफाइल आपको बिना किसी आश्चर्यजनक डाउनटाइम के शेड्यूल पर बनाए रखता है। इसका लाभ यह है कि आप पैरामीटर के साथ कम संघर्ष करते हैं और आउटपुट की भविष्यवाणी कर सकते हैं।
स्थापना पर आपको क्या करना है लैंप के फुटप्रिंट और इंटरफेस को आपके कोटर/बेक ट्रैक से मेल करने देना पहला कदम है। हम कनेक्टर स्पेक्स और संरेखण डेटा प्रदान करते हैं, लेकिन आपको ओवन कैविटी की ज्यामिति को सत्यापित करना होगा। प्रोफाइल को आपके रेजिस्ट स्टैक पर लॉक करने के लिए त्वरित बर्न-इन और थर्मल मैपिंग की अपेक्षा करें। और एक व्यावहारिक नोट: लैंप को उच्च तापमान बेक के दौरान ट्रेस वाष्पशीलों को संभालने के लिए एक क्लीनरूम-रेटेड निकासी पथ के साथ जोड़ा जाना चाहिए।