लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेसिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में 2°C का अंतर ही पर्याप्त है; इससे उत्पादों के आयामों में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन हो जाता है, और कई वेफर्स बेकार हो जाते हैं। R7s इन्फ्रारेड हीटिंग बल्ब, ऊष्मा को केवल आवश्यक स्थानों पर ही वितरित करने हेतु डिज़ाइन किया गया है।
प्रक्रिया के दौरान क्या महत्वपूर्ण है?
R7s, फोटोरेसिस्ट एवं सब्सट्रेट पर लघु-तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड ऊष्मा पहुँचाता है; इससे तापमान तेज़ी से एवं स्थिर रहता है। वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है; ऐसे में हर बार एक ही परिणाम प्राप्त होता है।
क्वार्ट्ज़ एन्वेलप एवं आंतरिक फिलामेंटों का डिज़ाइन
क्वार्ट्ज़ एन्वेलप एवं आंतरिक फिलामेंटों का डिज़ाइन ऐसा है कि तापमान बढ़ने पर भी कोई कण न उत्पन्न हो। क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ऐसा करने से कणों की संख्या स्थिर रहती है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक भी आउटपुट स्थिर रहता है… यानी 24/7 ऑपरेशन संभव है, बिना लगातार कैलिब्रेशन की आवश्यकता के।
लिथोग्राफी प्रक्रिया में R7s का उपयोग क्यों उपयुक्त है?
लिथोग्राफी प्रक्रिया में तापमान पर बहुत ही सटीक नियंत्रण आवश्यक है। अत्यधिक गर्मी से विलायक बाहर निकल जाता है, जिससे वेफरों की गुणवत्ता प्रभावित होती है। R7s के उपयोग से तापमान एवं समय पर बेहतर नियंत्रण संभव होता है… इससे हर बार एक ही परिणाम प्राप्त होता है।
इसके फायदे
ऐसी एकरूपता से पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, उत्पादन दर बढ़ जाती है, एवं प्रक्रिया में लगने वाला समय भी कम हो जाता है। कम ऊर्जा का उपयोग होने से लागत भी कम हो जाती है। लंबी सेवा अवधि के कारण ऑपरेशन में कम रुकावटें आती हैं।
क्या ध्यान में रखना आवश्यक है?
R7s, मानक R7s सॉकेटों हेतु ही डिज़ाइन किया गया है… लेकिन फिक्स्चर भी इसके अनुरूप ही होना चाहिए… रिफ्लेक्टरों एवं हवा के प्रवाह का डिज़ाइन भी लैंप के तापमान-प्रोफ़ाइल के अनुरूप ही होना चाहिए। सेटपॉइंट तय होने में थोड़ा समय लगता है… इसलिए इसे कोटर/ट्रैक कंट्रोलर के साथ ही उपयोग में लाना आवश्यक है।
सबसे अच्छे परिणामों हेतु, इस बल्ब का उपयोग कैलिब्रेटेड तापमान सेंसर एवं ऐसे कंट्रोलर के साथ ही करना चाहिए, जो वोल्टेज में होने वाले परिवर्तनों की भरपाई कर सके।