MEMS वेफरों को सुखाते समय उन्हें सुरक्षित रखना
वास्तव में, रासायनिक प्रक्रियाओं के बाद MEMS सेंसर वेफरों को सुखाना, आग से खेलने जैसा ही है। ऐसी स्थिति में ऊष्मा उत्पन्न करने वाले घटक, ज्वलनशील/विस्फोटक वाष्पों के ठीक बगल में ही होते हैं। ऐसी स्थिति में सामान्य इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करना बहुत ही जोखिम भरा है।
इसीलिए हम अपने इन्फ्रारेड हीटरों को विशेष तरीके से डिज़ाइन करते हैं। हम इन हीटरों को विशेष कवरों में लपेटते हैं; ताकि रासायनिक पदार्थ इनके फिलामेंटों को नुकसान न पहुँचा सकें, एवं चीजें आग न लग सकें।
रहस्य तो सीलिंग में ही है।
हम ऐसे क्वार्ट्ज कवरों का उपयोग करते हैं, जो कठोर रासायनिक पदार्थों के संपर्क में भी टूटते नहीं। इसका उद्देश्य विद्युत संपर्कों को हवा से पूरी तरह अलग रखना है। हम उच्च गुणवत्ता वाले एपॉक्सी या ग्लास-टू-मेटल सीलों का उपयोग करते हैं; ताकि वोलेटाइल ऑर्गैनिक कंपाउंड्स लैंप के अंदर न घुस सकें।
अगर सील टूट जाए, तो छोटी-सी चिंगारी भी आग लगने का कारण बन सकती है। हमने सीलिंग प्रक्रिया को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि ऐसी स्थिति कभी न आए।
ऊष्मा एवं सुरक्षा का संतुलन
ये हीटर उच्च-तीव्रता वाले विकिरणों का उपयोग करके वेफरों को तेज़ी से सुखा देते हैं… लेकिन साथ ही वेफरों को नष्ट भी नहीं करते। यह एक संतुलन ही है। हम वाटेज को ऐसे ही समायोजित करते हैं, ताकि सतह का तापमान रासायनिक वाष्पों के ज्वलन-बिंदु से नीचे ही रहे।
आपको तेज़ वाष्पीकरण मिलता है… लेकिन आपको हवा के प्रवाह पर भी ध्यान देना होगा। ये लैंप बहुत गर्म हो जाते हैं… अगर वेंटिलेशन प्रणाली धीमी हो जाए, तो चैंबर में गर्मी जमा हो जाती है… और यहीं से जोखिम शुरू हो जाता है।
रखरखाव में कोई परेशानी नहीं
हम नहीं चाहते कि आपको मरम्मत में घंटों समय बिताना पड़े… इसलिए हमने ऐसे उपकरणों को “ड्रॉप-इन” रिप्लेसमेंट के रूप में ही डिज़ाइन किया है।
इन उपकरणों में उपयोग किए गए वायर, खतरनाक क्षेत्रों के लिए उपयुक्त हैं… इनमें ऐसा इन्सुलेशन है, जो कई सौ बार गर्म होने के बाद भी नहीं टूटता। हमने ऐसे कनेक्टरों का भी उपयोग किया है, जो समय के साथ ढीले नहीं होते… बल्कि ये टिकाऊ एवं कंपन-प्रतिरोधी हैं।
इससे विद्युत आवेशों का कोई जोखिम ही नहीं रहता। जब उपकरण को बदलने की आवश्यकता होती है, तो आप बस लैंप को बदल देते हैं… फिटिंगों को ठीक कर देते हैं… और उपकरण फिर से काम करने लगता है। कोई जटिल मरम्मत की आवश्यकता ही नहीं है।