एक ही लैंप के खराब होने से पूरी उत्पादन प्रक्रिया नष्ट न हो, इसके लिए उपाय करने आवश्यक हैं।
उच्च-लोड वाले उत्पादन संयंत्रों में, किसी लैंप के खराब होने से सिर्फ थोड़ी परेशानी ही नहीं होती, बल्कि यह एक बड़ी समस्या बन जाती है।
यदि वैक्यूम चेम्बर में क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाती है, तो आपको सिर्फ एक खराब लैंप ही नहीं, बल्कि चारों ओर फैले हुए काँच के टुकड़ों एवं धातु के टुकड़ों का सामना करना पड़ता है; इससे वेफर भी दूषित हो जाते हैं। यह बहुत ही खराब स्थिति है… और इसकी लागत भी बहुत अधिक है।
यही कारण है कि हम अपने वैक्यूम इन्फ्रारेड हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं।
गंदगी को नियंत्रित रखना
हम उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं; क्योंकि यह तेज़ गर्मी/ठंड के प्रभाव को सह सकता है, बिना टूटने के। लेकिन हम यहीं नहीं रुकते… हम एक सुरक्षात्मक कवर भी लगाते हैं। ऐसा करने से, यदि कोई फिलामेंट खराब हो जाता है, तो उसके टुकड़े कवर के अंदर ही रह जाते हैं… और चेम्बर में गंदगी नहीं फैलती। इससे आपके सिलिकॉन वेफर साफ रहते हैं।
ऊष्मा का संतुलन
उच्च-घनत्व वाले तापन प्रणालियों में संतुलन बहुत ही महत्वपूर्ण है… आपको पर्याप्त ऊर्जा की आवश्यकता है, लेकिन ट्यूब की दीवारें बहुत गर्म नहीं होनी चाहिए।
हम वोल्टेज एवं वॉटेज के मानों के बारे में बहुत ही सावधान रहते हैं… यदि आप तेज़ गर्मी प्राप्त करने हेतु लैंप की क्षमता से अधिक ऊर्जा देने की कोशिश करते हैं, तो क्वार्ट्ज टूटने लगता है… यह एक ऐसा रास्ता है जिससे समस्याएँ बढ़ जाती हैं। इसलिए, अपने पावर सप्लाई को हमारे निर्देशों के अनुसार ही रखें… ताकि काँच टूटे नहीं।
सफाई बनाए रखना
हम इन लैंपों में इस्तेमाल होने वाली सामग्रियों के बारे में बहुत ही सावधान रहते हैं… यहाँ सस्ते चिपकने वाले पदार्थ या कार्बनिक पदार्थ इस्तेमाल नहीं किए जाते… क्योंकि ये वैक्यूम में वाष्पीकृत होकर वेफर पर ही जम जाते हैं।
हम लैंप के छोरों को उच्च-गुणवत्ता वाले सिरेमिक से ही सील करते हैं… इससे कोई लीकेज नहीं होता।
वास्तविक समझौता
मैं आपको सीधे ही बता दूँ… सुरक्षात्मक कवर लगाने से इन्फ्रारेड तरंगों का संचरण थोड़ा प्रभावित हो जाता है।
आपको ऊर्जा की मात्रा में थोड़ा बदलाव करना होगा, या लैंप एवं सब्सट्रेट के बीच की दूरी में भी बदलाव करना होगा… ताकि ऊष्मा का स्तर आपकी आवश्यकताओं के अनुरूप रहे।
यह एक छोटी सी कीमत है… आपको थोड़ी कार्यक्षमता का नुकसान होगा, लेकिन आपको यह आश्वासन मिलेगा कि किसी हार्डवेयर समस्या के कारण आपकी पूरी उत्पादन प्रक्रिया नष्ट नहीं होगी।