अपने सिलिकॉन वेफरों को साफ रखना: ओज़ोन-मुक्त आईआर लैंपों के बारे में सच्चाई
उच्च मात्रा में अर्धचालक उत्पादन हेतु, लैंपों का खराब होना एक बहुत ही बड़ी समस्या है। इसका मतलब केवल उत्पादन में व्यवधान ही नहीं है… यदि क्वार्ट्ज ट्यूब सिलिकॉन वेफर पर फट जाती है, तो हर जगह काँच के टुकड़े एवं रासायनिक अवशेष फैल जाते हैं… यह एक भयानक स्थिति है, एवं ऐसी स्थिति में उत्पादन प्रक्रिया तुरंत ही रुक जाती है।
हमने ऐसी ही समस्याओं से बचने हेतु ओज़ोन-मुक्त आईआर लैंप विकसित किए।
ओज़ोन की समस्या
अधिकांश मानक शॉर्टवेव आईआर लैंप, 185 नैनोमीटर से 254 नैनोमीटर की आवृत्ति रेंज में विकिरण उत्सर्जित करते हैं… लेकिन यह विकिरण ऑक्सीजन के संपर्क में आकर ओज़ोन बनाता है… क्लीनरूम में ओज़ोन एक खतरनाक पदार्थ है…
इस समस्या को दूर करने हेतु, हम डोप्ड फिलामेंट एवं विशेष क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… इससे प्रकाश की आवृत्ति ऐसी हो जाती है कि ओज़ोन उत्पन्न ही न हो… आपको अभी भी आवश्यक ऊष्मा मिलती है… लेकिन ऐसे में कोई रासायनिक प्रभाव नहीं पड़ता।
ट्यूबों के टूटने की समस्या
अधिकांश ट्यूबें थर्मल शॉक के कारण ही टूट जाती हैं… अर्थात्, वे ठंडे से गर्म होने की प्रक्रिया को सहन नहीं कर पातीं…
हम उच्च शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… इसका विस्तार-दर बहुत ही कम है… इसलिए बिजली के उतार-चढ़ाव के दौरान भी यह टूटता नहीं… लेकिन हमने यहीं नहीं रुके… हमने एक सुरक्षात्मक आवरण भी जोड़ा… यदि क्वार्ट्ज टूट भी जाए, तो यह आवरण सब कुछ एक साथ रखता है… इससे कचरा सिलिकॉन वेफरों पर नहीं गिरता।
ऊष्मा संबंधी जानकारी
जब बड़ी मात्रा में ऊष्मा एक छोटे स्थान से निकलती है, तो लैंपों पर इसका बहुत ही बुरा प्रभाव पड़ता है…
हमारे लैंप भारी भार को सहन करने हेतु बनाए गए हैं… लेकिन आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपकी शीतलन प्रणाली भी इसका सामना कर सके… यदि हवा का प्रवाह कम है, तो लैंप ओवरहीट हो जाएंगे… यह एक सरल भौतिकीय समस्या है… लेकिन यहीं पर ही बहुत से लोग गलती कर देते हैं…
क्वार्ट्ज की शुद्धता एवं लैंपों की संरचना पर ध्यान देकर, हमने कणों के निकलने की समस्या को कम कर दिया… इससे लैंप हमेशा ठीक ही रहते हैं… चाहे उन पर कितना भी भार पड़े।