बिना ऊर्जा बर्बाद किए वेफरों को सही तरीके से संसाधित करना
यदि आप किसी सेमीकंडक्टर फैक्ट्री में कार्बन न्यूट्रैलिटी हासिल करना चाहते हैं, तो इसके लिए आवश्यक है कि आप ऊष्मा का सही उपयोग करें। जब आप वेफरों को संसाधित कर रहे होते हैं, तो आप ऊर्जा को बर्बाद नहीं करना चाहते।
रहस्य यह नहीं है कि आप बड़े हीटर का उपयोग करें। वास्तव में, आवश्यक तो यह है कि ऊष्मा सीधे वेफर तक पहुँचे, न कि मशीन के शरीर को गर्म करे। यहीं पर ही उच्च-परावर्तन वाले आईआर रिफ्लेक्टरों की भूमिका आती है।
अपनी आधी ऊर्जा बर्बाद न करें
सामान्य लैंपों के बारे में सोचें – वे हर दिशा में ही ऊष्मा उत्सर्जित करते हैं, यानी 360 डिग्री में। ऐसी स्थिति में, आपकी आधी ऊर्जा ही बर्बाद हो जाती है।
हम सोने या एल्यूमीनियम से बने रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं, ताकि वे फोटॉनों को वापस वेफर की ओर भेज सकें। इससे वेफर की सतह पर अधिक ऊष्मा पहुँचती है।
सबसे अच्छी बात यह है कि आप लैंप की शक्ति कम कर सकते हैं, या कन्वेयर बेल्ट की गति बढ़ा सकते हैं। इससे ग्रिड से कम ऊर्जा खपत होती है, और कम ऊष्मा कमरे में फैलती है। यह तो एक बेहतरीन विकल्प है।
सही सामग्रियों का चयन
आमतौर पर, हम उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमीनियम या सोने से बने मिश्रधातुओं का उपयोग करते हैं। सोना तो सर्वोत्तम विकल्प है – क्योंकि यह उच्च तापमानों में भी ऑक्सीकृत नहीं होता। लेकिन इसकी कीमत बहुत अधिक होती है।
यहाँ समस्या यह है कि यदि आप उच्च-शक्ति वाली प्रणाली का उपयोग कर रहे हैं, तो रिफ्लेक्टर पर भी दबाव पड़ता है। आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि रिफ्लेक्टर का आवरण ठीक से वेंटेटेड हो। यदि रिफ्लेक्टर बहुत गर्म हो जाए, तो उसकी परतें खराब हो जाती हैं। इससे वेफर पर “हॉट स्पॉट” बन जाते हैं, और परिणामस्वरूप पूरा वेफर खराब हो जाता है।
सटीकता ही सब कुछ है
“ग्रीन फैक्ट्री” सेटअप में ऊर्जा की खपत कम करना तो अच्छा लगता है, लेकिन इसके लिए सटीकता आवश्यक है। यदि आप ऊष्मा को बहुत अधिक केंद्रित करते हैं, तो वेफर की स्थिति बिल्कुल सटीक होनी चाहिए। यदि वेफर में कुछ मिलीमीटर की भी गलती हो जाए, तो ऊष्मा की तीव्रता कम हो जाती है।
आप कोई जोखिम नहीं ले सकते। आपको ऐसा यांत्रिक उपकरण चाहिए, जो वेफर को सटीक रूप से सही स्थान पर रख सके। इसके साथ ही, आपको एक सटीक PID कंट्रोलर भी चाहिए, ताकि तापमान नियंत्रित रहे एवं वेफर के किनारे जल न जाएँ।