רכיב חימום לתהליך הליתוגרפיה
למה נדרש מחמם שנועד במיוחד לתהליך האפייה הרכה?
אנו מייצרים רכיבי חימום לתהליך האפייה הרכה בתהליך הליתוגרפיה, בעיקר עבור שלבי הייצור הראשונים של...
מנורה לאפיית חומר פוטורזיסט אחיד
בשלב הליתוגרפיה, במהלך תהליכי החימום הרך והקשה, נקבעת או נפגעת מבנה הפוטורזיסט. אם החימום אינו אחיד על פני הוואפר, ייווצרו שינויים בעובי הפוטורזיסט....
מנורת אפייה לדפוס UV עמוק (DUV)
במפל הליתוגרפיה, אתה יודע את הפרוצדורה: אפייה אשר נודדת אפילו בחצי מעלה מעבירה את בקרת ה-CD מהמפרט. אתה מריץ דבק DUV דרך אפייה רכה ואפייה קשה כדי...