במפל הליתוגרפיה, אתה יודע את הפרוצדורה: אפייה אשר נודדת אפילו בחצי מעלה מעבירה את בקרת ה-CD מהמפרט. אתה מריץ דבק DUV דרך אפייה רכה ואפייה קשה כדי להוציא את המסיס ולנעול את הפרופיל. אם התקציב התרמי לא תקין, הקווים מתפשטים, מחוספסת הקצה עולה, ופתאום כל המכלול נמצא באדום. מנורת האפייה של דבק DUV שם כדי להוציא את המשתנים מהשולחן. מה שחשוב מתחת למכסה המנוע בניתם את המנורה הזו כדי לשחרר אנרגיה של גלי קצר היכן שדבק DUV סופג אותה, עם חלקי קוורץ ששומרים על הספקטרום יציב. across the chuck, אחידות ברמת השבב נשמרת בתוך ±0.1°C, כך שכל שבב במכלול רואה את אותה היסטוריית טמפרטורה. התנהגות בחדר נקי אינה רעיון מאוחר - חללים בדרגת Class 1–100 אינם רואים עליה של חלקיקים, ואזור החום נשאר מכיל כך שהגזים לא יכולים לזהם את הדבק. הפלט חוזר על עצמו לאורך אלפי מחזורי אפייה, והמסה התרמית מנוהלת כך שלא תהיה נדידה כאשר הקו פועל 24/7. למה זה מחזיק בליתוגרפיית DUV היבול תלוי בחלונות תהליך שאתה יכול לשמור עליהם. שליטה תרמית הדוקה מפחיתה את הסטיות ב-CD ומגנה על שולי ההOverlay, מה שאומר פחות פסולת ופחות תיקונים. קיצור הקו נשאר עקבי, ומחוספסת הקצה יורדת משום שהפרופיל של האפייה חוזר על עצמו מכלל למכלל. חיבור יעיל וייצוב מהיר שומרים על השימוש באנרגיה במעקב, ופרופיל האמינות שומר אותך בלוח הזמנים שלך ללא השבתות מפתיעות. התוצאה היא פחות מאבקים עם פרמטרים ופלט שאתה יכול לחזות. מה שאתה צריך לעשות במהלך ההתקנה התאמת את שטח המנורה והאינטרפייס למסלול הציפוי/אפייה שלך היא הצעד הראשון. אנו מספקים את מפרטי החיבור ונתוני היישור, אך אתה עדיין צריך לאמת את גיאומטריית חלל התנור. צפה בבדיקת חימום מהירה ומיפוי תרמי כדי לנעול את הפרופיל לערימת הדבק שלך. והערה מעשית אחת: המנורה חייבת להיות משויכת לנתיב אוויר נקי בדרגה כדי להתמודד עם מתנדפים מזעריים במהלך אפיות בטמפרטורות גבוהות.