Out on the fab floor, a half-degree drift during the photoresist bake is all it takes to scrap a full carrier. You need a dryer that holds...

בקומת הייצור, כמה מעלות בלבד מפרידות בין ריצת יציבה לסטייה. בליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט, שלב האפייה אינו רק חימום מקדים. זה התקציב התרמי שקובע את...