למה נדרש מחמם שנועד במיוחד לתהליך האפייה הרכה?
אנו מייצרים רכיבי חימום לתהליך האפייה הרכה בתהליך הליתוגרפיה, בעיקר עבור שלבי הייצור הראשונים של הוואפרים. המטרה היא פשוטה: לשמור על החום בדיוק במקום שבו הוא נחוץ, בעת תהליך האטימה של הפוטורזיסט.
המציאות היא שכל שגיאה של מעט מעלה אחד עלולה לגרום לאובדן של כל המוצרים. לכן, אנו משתמשים בצינורות הלוגן בעלי צפיפות גבוהה. הם מספקים חום עקבי ואמין, דווקא במקום שהתהליך דורש זאת.
הספק, המתח והמרחב הדרוש
רכיבי החימום האלו נוצרו עבור מרחבים צפופים. הם פועלים במתח גבוה ובצפיפות גבוהה, כך שהם יכולים להתאים למקומות קטנים מבלי לפגוע בביצועים שלהם.
מתח של 400V מאפשר לקבל את ההספק הדרוש במבנה קטן – ניתן לחשוב על צינור קוורץ באורך 300 ממ. בחירה זו של מתח מפחיתה את הזרם, מה שאומר שאין צורך בכבלים עבים, והחלקים החשמליים נשארים קרים יותר.
בהספק של 2500W, ניתן להשיג עלייה מהירה בטמפרטורה, והמחמם יכול לשמור על הטמפרטורה הרצויה גם כאשר התהליך עובד בעומס.
החומרים שמאפשרים את הפעולה
בתוך הצינור יש רכיב הלוגן בעל גלים קצרים, הנמצא בתוך צינור קוורץ בעל טוהר גבוה. הקוורץ מסייע בספיגת ההלם התרמי ושומר על רמת החום העקבית. רכיב ההלוגן שומר על יציבות הפילמנט לאורך זמן, כך שהטמפרטורה נשארת עקבית.
הצינור משתמש בחיבור מסוג R7s – חיבור דו-חוטי שמאפשר חיבור אמין, עמידות בפני שינויי טמפרטורה, ואפשרות קלה להחלפת הצינור בזמן התחזוקה.
אנו משתמשים במחמם הזה בטמפרטורות גבוהות ובקצב מהיר, לכן החיבורים והחוטים מיועדים לעבודה בטמפרטורות גבוהות לאורך זמן.
מה התחושה בפועל?
במפעל, תהליך האפייה הרכה חייב להתבצע במהירות ובאופן אחיד, כך שהפוטורזיסט יתאטם לפני החשיפה. המחמם שלנו מספק חום עקבי ושליטה מדויקת. הממדים הקטנים שלו מאפשרים אינטגרציה קלה למערכות הקיימות.
אך יש גם חיסרון – מכיוון שהחום כה גבוה, יש צורך במערכת קירור וזרימת אוויר טובה, כדי לשמור על הטמפרטורה הנכונה בסביבת המחמם.
אנו סומכים על מערכת זו, מכיוון שהיא שומרת על הטמפרטורה הרצויה גם בעת עבודה רציפה. אם תרצו לבדוק אותו לצד מערכות אחרות, נביא את הנתונים ונאפשר למספרים לדבר בעד עצמם.