בשלב הליתוגרפיה, במהלך תהליכי החימום הרך והקשה, נקבעת או נפגעת מבנה הפוטורזיסט. אם החימום אינו אחיד על פני הוואפר, ייווצרו שינויים בעובי הפוטורזיסט. שינויים אלו יתבטאו לאחר מכן בשינויים ברוחב הוואפר, והוואפר יהפוך לחסר תועלת.
מה חשוב באמת? יצרנו את מנורת החימום של הפוטורזיסט על בסיס מערך של גלאים לפליטת אור באורך גל קצר, בשילוב עם חלון קוורץ מחוזק בסיבי פחמן. המערכת מאפשרת שליטה תרמית אחידה על פני הוואפר, בטווח של ±0.1°C, והשגרירות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.5°C ממחזור למחזור. מערך של 16 גלאים מאפשר שליטה אוטומטית במבנה הפוטורזיסט, וכך נשמרת טמפרטורה יציבה שמאפשרת שלילת הממס מהפוטורזיסט מבלי לחרוג מהטמפרטורה הרצויה. המנורה פועלת 24/7 בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והיא אינה יוצרת שום חלקיקים, כפי שניתן לראות ממספר החלקיקים שנמצא ברמה של פחות מ-0.01/cm².
זו הסיבה שהדיוק הזה משפיע על התהליך: החימום הרך מאפשר שלילה אחידה של הממס, והחימום הקשה מאפשר קביעת מבנה הפוטורזיסט ללא שינויים, כך שרוחב הוואפר וזווית הקירות נשארים כפי שצריך.
התהליך של חריטה מראה את השיפור מיד: פחות השפעות של מעמסות מיקרוסקופיות, פחות עבודה חוזרת, ושליטה טובה יותר ברוחב הוואפר. גם צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהמנורה מגיעה לטמפרטורה הרצויה תוך שניות ספורות, ושומרת עליה ללא שינויים, כך שנמנעות אובדני אנרגיה לא רצויים.
ההתקנה פשוטה, אך יש צורך במקור אנרגיה של 24VDC ובאספקת אוויר נקי ויבש כדי לשמור על הטמפרטורה הרצויה של החלון. המנורה מתאימה לרוב מערכות הציפוי/חימום, אך יש לוודא שיש אדפטרים מתאימים לכל פלטפורמה.
יש לתכנן את האנרגיה הנדרשת לכל שלבי החימום. ביצועי המנורה תלויים במסה התרמית של הוואפר ושל שאר הרכיבים בו.