מנורה לאפיית חומר פוטורזיסט אחיד

בשלב הליתוגרפיה, במהלך תהליכי החימום הרך והקשה, נקבעת או נפגעת מבנה הפוטורזיסט. אם החימום אינו אחיד על פני הוואפר, ייווצרו שינויים בעובי הפוטורזיסט....