جلوگیری از آسیب به ویفرها توسط لامپهای مادون قرمز
چرخههای تولید با بار سنگین، برای لامپهای گرمایشی مادون قرمز بسیار استرسزا هستند؛ این لامپها دچار آسیب شدید میشوند.
وقتی که لامپ در نهایت از کار میافتد، یا حتی در داخل محفظه گرمایشی منفجر میشود، وضعیت واقعاً وحشتناک خواهد بود. در این صورت، تکههای کوارتز و ضایعات فیلامنت در همه جا پخش میشوند؛ این امر نه تنها ویفری که در حال کار روی آن هستید را از بین میبرد، بلکه کل فرآیند تولید را نیز متوقف میکند، زیرا باید کل خط تولید را برای تمیز کردن آن ضایعات متوقف کنید.
مقابله با مشکلات ناشی از انفجار لامپ
دشمن واقعی در اینجا، شوک حرارتی است. اگر در ساختار کوارتز ناخالصیهای کوچکی وجود داشته باشد، یا دیوارههای کوارتز کاملاً صاف نباشند، گرما باعث انبساط ناهموار شیشه میشود؛ این امر منجر به پدیده ترک خوردن کوارتز میشود.
ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کوارتز به طور یکنواخت انبساط مییابد، بنابراین میتواند در برابر چرخههای تولید سریع مقاومت کند.
اما باید صادق باشیم: همچنان احتمال شکستن لامپ وجود دارد؛ به همین دلیل، ما یک غلاف محافظ در اطراف لامپ قرار میدهیم. میتوانید آن را مانند یک تور محافظ در نظر بگیرید؛ اگر لامپ درون غلاف منفجر شود، ضایعات درون غلاف باقی میمانند؛ در نتیجه، سیلیکون شما تمیز باقی میماند و نیازی به نگرانی نیست.
ساخت لامپهایی که بتوانند مدت طولانی کار کنند
برای حفظ پایداری لامپ، از فیلامنتهای هالوژنی استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود تنگستن به سرعت تبخیر نشود و دیوارههای داخلی لامپ کدر نشوند؛ در نتیجه، تولید گرما در لامپ برای هزاران ساعت پایدار خواهد بود. همچنین، از کاپهای محافظ نیز استفاده میکنیم؛ اگر گاز از لامپ نشت کند، لامپ زودتر از بین خواهد رفت.
یک نکته مهم: مراقب منبع تغذیه لامپ باشید؛ ممکن است وسوسه شوید فشار الکتریکی لامپ را بالا ببرید تا زمان رسیدن به دمای مورد نظر کوتاهتر شود، اما این کار ریسک بالایی دارد؛ زیرا فیلامنت لامپ سریعتر خراب میشود و احتمال انفجار لامپ نیز بیشتر میشود.
تعادل بین مزایا و معایب
معایب این روش این است که استفاده از غلاف محافظ، کمی از انتقال امواج مادون قرمز را متوقف میکند؛ در نتیجه، مقدار کمی از گرمای مستقیم از دست میرود.
البته این موضوع مشکل بزرگی ایجاد نمیکند، اما ممکن است نیاز باشد چند تنظیم انجام شود؛ ممکن است لازم باشد توان لامپ را افزایش دهید یا لامپ را کمی نزدیکتر به ویفر قرار دهید. فقط مطمئن شوید که فنهای خنککننده بتوانند گرمای اضافی را مدیریت کنند؛ در غیر این صورت، ریسک تغییر شکل قاب لامپ وجود دارد.