مقدمه
هنگام کار با ویفرهای نیمههادی، تنظیم دقیق دما نه تنها مهم است، بلکه ضروری است. به همین دلیل، سیستمهای گرمایشی مادونقرمز ما را طوری طراحی کردهایم که گرما درست در جایی که لازم است تولید شود، و در هیچ جای دیگری نه.
ما در واقع منظورمان، گرمایش دقیق و متمرکز برای سنسورهای دما و قطعات مربوط به فرآیندهای گرمایشی است. هدف اصلی این است که چگالی گرما مورد نیاز تجهیزات شما فراهم شود، در حالی که مصرف انرژی کاهش یافته و تأثیرات منفی زیستمحیطی نیز کمتر شود. این روش، راهی برای داشتن یک کارخانه سبز است.
بررسی فنی
لامپهای مادونقرمز هالوژنی ما برای استفاده در تجهیزاتی با محدودیتهای حرارتی زیاد طراحی شدهاند. آنها مقدار زیادی گرما را در فضای کوچکی تولید میکنند؛ بنابراین تجهیزات شما سریع گرم میشوند و زمان فرآیندها کوتاهتر میگردد.
استفاده از ولتاژ بالای ۴۰۰ ولت نیز گامی هوشمندانه است؛ زیرا امکان انتقال انرژی در فواصل طولانی با جریان کمتر را فراهم میکند. این امر باعث میشود که سیمهای باریکتری مورد استفاده قرار گیرند و نگرانیهای مربوط به کاهش ولتاژ کمتر شود. این روش، مصرف انرژی را کاهش داده و استفاده از این سیستم را در تجهیزات موجود شما آسانتر میکند.
همچنین، با طول لوله ۳۰۰ میلیمتر و توان ۲۵۰۰ وات، گرما به خوبی با منطقه گرمایشی تجهیزات هماهنگ میشود. این امر باعث میشود که پوشش گرمایی یکنواختی وجود داشته باشد، بدون اینکه نیاز به افزایش اندازه کل سیستم باشد.
مواد و طراحی
لوله کوارتزی؟ این ماده به این دلیل انتخاب شده است که بلافاصله به تغییرات دما واکنش نشان میدهد و میتواند در برابر تغییرات دما مقاومت کند، بدون اینکه ترک ببندد. در داخل لوله، سیستم هالوژنی باعث ثبات رشتههای الکتریکی میشود و از تیره شدن آنها در طول زمان جلوگیری میکند.
خروجی مادونقرمز کوتاهموج، سرعت و کارایی را در اختیار شما قرار میدهد؛ یعنی سنسورها و قطعات مربوطه به سرعت گرم میشوند.
ما حتی روی لوله کوارتزی، پوشش ویژهای نیز قرار دادهایم؛ این پوشش به کنترل نوع نور تولید شده کمک میکند و گرما را در جای مناسب نگه میدارد. این امر باعث میشود که نتایج یکنواختتری حاصل شود و قطعات مجاور نیز از آسیب در امان بمانند.
و در مورد کانکتور R7s، این کانکتور به راحتی در جای خود قرار میگیرد؛ این امر باعث میشود که اتصال مکانیکی و الکتریکی استوار باشد. شما میتوانید آن را به سرعت متصل کنید، و میتوانید مطمئن باشید که حتی در حین گرم شدن و سرد شدن مداوم، اتصال استوار خواهد ماند.
کاربردها و مزایا
در دنیای واقعی تجهیزات ویفری، این سیستم باعث میشود که سنسورهای دما و مناطق گرمایشی سریعتر به حالت تعادل برسند؛ این امر باعث کاهش مصرف انرژی در زمانی که ماشین در حالت استراحت است، میشود. گرمای متمرکز مادونقرمز، زمان گرم شدن را کاهش داده و زمان فرآیندها را یکنواخت نگه میدارد.
این امر مستقیماً منجر به کاهش کیلوواتساعت مصرفی برای هر ویفر میشود؛ این امر به شما کمک میکند تا اهداف کاهش کربن را محقق کنید.
اما باید واقعبین باشیم؛ ۲۵۰۰ وات توان در ولتاژ ۴۰۰ ولت، گرما تولید میکند. شما نیاز به سیستم خنککننگی مناسبی دارید. مطمئن شوید که سیستم هواکشی و تبادل حرارت تجهیزات شما بتواند این گرما را مدیریت کند.
برای مهندسان، این سیستم منبع گرمایی قابل اعتمادی است؛ این سیستم، گرما را در جای مناسب نگه میدارد و باعث میشود که فرآیندها بدون مشکل ادامه یابند.