در خط تولید، فرآیند لیتوگرافی با سرعت خاص خود انجام میشود؛ نمیتوانید در حین اجرای این فرآیند، آن را متوقف کنید. اگر دمای IR در حین گرم کردن فوتورزیست، تغییر کند، شما مجبور خواهید بود با تغییرات اندازههای مهم مقابله کنید؛ در نتیجه بازدهی تولید کاهش خواهد یافت. آنچه که مورد نیاز است، این است که دما ثابت بماند، در سراسر ویفر یکنواخت باشد، و هر بار که ویفر وارد این دستگاه میشود، همان الگوی حرارتی تکرار شود.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ ما از گرمکنهای IR برای گرم کردن ویفر استفاده میکنیم؛ این گرمکنها، گرمای دقیقی را در جایی که فوتورزیست به آن نیاز دارد، تأمین میکنند. این کار با استفاده از منبع مادون قرمز با طول موج کوتاه انجام میشود. در سراسر ویفر، یکنواختی دما باید در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد؛ همچنین، تکرارپذیری دما نیز باید در حد ±۰.۲ درجه سانتیگراد باشد. به این ترتیب، هر محموله از ویفرها، تحت یک شرایط یکسان گرم میشود. طراحی این گرمکنها بر پایه کوارتز است؛ این طراحی باعث میشود که تولید ذرات ناخواسته صفر باشد و این گرمکنها با شرایط اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار باشند. کنترل حلقه بسته، که به سنسور کلاس A متصل است، باعث میشود که اختلاف دما کمتر از ۰.۵ درجه سانتیگراد باشد؛ این امر از ویفرهای حساس محافظت میکند، در حالی که سرعت گرم شدن نیز حفظ میشود.
چرا این روش در تولید موفق عمل میکند؟ در شرایط کار ۷×۲۴ ساعته، این دستگاه بدون هیچ توقف ناخواستهای کار میکند؛ ما شاهد نرخ خطای صفر در طول شیفتهای مداوم بودهایم. دادههای میدانی نشان میدهد که این دستگاه میتواند بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کند، بدون اینکه بازدهی آن کمتر از ۵٪ شود؛ همچنین، تغییر دما نیز کمتر از ۰.۱ درجه سانتیگراد در هر ۱٬۰۰۰ ساعت است. این امر منجر به کنترل دقیقتر اندازههای ویفر، کاهش تعداد ویفرهای بیکیفیت، و برنامهریزی بهتر برای تعمیرات میشود. سرعت بالای گرم شدن، زمان گرم شدن ویفر را کاهش میدهد، بدون اینکه کنترل الگوی حرارتی از بین برود؛ در نتیجه، بازدهی تولید افزایش مییابد، در حالی که مصرف انرژی نیز کنترل میشود.
جزئیات عملی: برای نصب این دستگاه، نیاز به منبع تغذیه مخصوص و کنترلشده، و همچنین محافظت مناسب در برابر امواج الکترومغناطیسی وجود دارد؛ تا حلقه کنترل سالم بماند. این گرمکنها میتوانند در ایستگاههای استاندارد OEM نصب شوند؛ اما رابط حرارتی آنها باید مناسب باشد؛ در غیر این صورت، ناهماهنگیهایی در دما ایجاد خواهد شد. لازم است یک آزمایش کوتاه انجام شود تا پارامترهای دستگاه تنظیم شوند؛ پس از آن، فرآیند تولید به طور مداوم ادامه خواهد داشت.