در کارخانههای تولید، حتی کمترین انحراف در مرحله خشککردن نیز میتواند باعث اختلال در کیفیت فوتورزیست شود. در نتیجه، مجبور به اتلاف ویفرها و هدررفت انرژی میشویم. این اتلاف انرژی نیز به تدریج افزایش مییابد؛ چرا که چرخههای گرمایشی غیرکارآمد و تنظیمات مکرر لازم برای کنترل دما، منجر به اتلاف انرژی میشوند. ما سیستم گرمایشیای طراحی کردهایم که هر دو مشکل را برطرف کند؛ یعنی هم مصرف انرژی را کاهش دهد و هم دمای مناسب برای فرآیند لیتوگرافی را حفظ کند.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟
در طول فرآیند گرمکردن، ما میزان یکنواختی دما را در سطح ویفرها در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد نگه میداریم؛ بنابراین فرآیند گرمکردن به درستی انجام میشود. این سیستم در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱–۱۰۰ نیز کار میکند و هیچ ذرهای را وارد فرآیند نمیکند؛ این امر از کاهش بازدهی در مراحل حساس فرآیند جلوگیری میکند. ساختار گرمایشی این سیستم برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ بدون هیچ توقف ناخواستهای، و عمر آن بیش از ۱۰٬۰۰۰ ساعت است.
قابلیت تکرارپذیری این سیستم نیز اندازهگیری میشود؛ یعنی اجرای متوالی فرآیندها بدون هیچ انحرافی انجام میشود. حتی در صورت تغییر ولتاژ، چرخه کنترلی سیستم همچنان پایدار باقی میماند.
چرا این سیستم در کارخانههای واقعی مؤثر است؟
مصرف انرژی در این سیستم قابل مشاهده، اندازهگیری و کنترل است. ما یک بررسی انرژی انجام میدهیم تا میزان مصرف انرژی برای هر دسته ویفر مشخص شود؛ سپس سیستم گرمایشی را تنظیم میکنیم تا گرمای اضافی کاهش یابد، بدون اینکه بر کیفیت فرآیند تأثیر بگذارد. در نتیجه، چرخههای فرآیند سریعتر انجام میشود، هزینههای انرژی کاهش مییابد و ویفرهای از کار افتاده کمتر میشود؛ بدون اینکه پارامترهای فرآیند فوتورزیست تغییر کند. نتیجه این کار، کنترل دقیق ابعاد مهم فرآیند و کاهش هزینه هر ویفر، ماه به ماه، است.
نکاتی که باید بدانید:
این سیستم با دستگاهها و فرهای موجود سازگار است؛ اما برای حفظ یکنواختی دما، به یک مدار برقی مخصوص و منبع هوای تمیز نیاز دارد. برای تنظیم پارامترهای سیستم، به زمان کوتاهی برای راهاندازی نیاز است. پس از تنظیم، سیستم به درستی کار خواهد کرد؛ یعنی به صورت مداوم، قابل تکرار و با کنترل انرژی مناسب.