نگهداری از ایمنی در هنگام خشک کردن ویفرهای MEMS
واقعیت این است که خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS پس از شستشوی شیمیایی، مانند بازی کردن با آتش است؛ چرا که عناصر گرمایشی در کنار بخارات قابل اشتعال و منفجره قرار دارند. اگر سعی کنید از لامپهای مادون قرمز استاندارد برای این کار استفاده کنید، در واقع خودتان را در معرض خطر قرار میدهید.
به همین دلیل، ما گرمکنهای مادون قرمز خود را به شکلی خاص طراحی کردهایم؛ این گرمکنها در لایههای ویژهای قرار دارند که از نفوذ مواد شیمیایی به درون آنها جلوگیری میکند؛ همچنین از اشتعال آنها نیز جلوگیری میشود.
راز، در استفاده از لایههای دربستهسازی است.
ما از پوششهای کوارتزی دربسته و رنگهایی استفاده میکنیم که در برابر مواد شیمیایی مقاوم هستند. هدف اصلی، جلوگیری از تماس الکتریکی با هواست. ما از مواد اپوکسی با کیفیت بالا یا اتصالات شیشه-فلزی برای جلوگیری از ورود ترکیبات آلی فرار به داخل لامپ استفاده میکنیم.
فکر کنید: اگر لایههای دربستهسازی از بین برود و فیلامنت لامپ سوخته شود، آن جرقه کوچک میتواند باعث اشتعال آتش شود. ما فرآیند دربستهسازی را به گونهای طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
تعادل بین گرما و ایمنی
این گرمکنها تشعشعات مادون قرمز با شدت بالا را ارائه میدهند تا ویفرها را به سرعت خشک کنند، بدون اینکه سطح آنها آسیب ببیند. این یک تعادل حساس است؛ ما توان لامپها را طوری تنظیم میکنیم که دمای سطح آنها در حدی باقی بماند که زیر نقطه اشتعال بخارات شیمیایی باشد.
شما میتوانید از تبخیر سریع مورد نیاز خود بهرهمند شوید، اما باید مراقب جریان هوا نیز باشید. این لامپها دارای دمای بالایی هستند؛ اگر سیستم تهویه کند شود، گرما در داخل محفظه انباشته میشود و این موضوع خطرناک خواهد بود.
عدم وجود مشکلات در تعمیرات
ما نمیخواستیم که شما ساعتها وقت خود را صرف تعمیرات کنید؛ بنابراین این دستگاهها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی جایگزین کرد.
سیمکشی این دستگاهها برای مناطق خطرناک طراحی شده است؛ از عایقهایی استفاده شده که در برابر چند صد بار گرم شدن، ترک نخواهند خورد. همچنین، از اتصالات ضعیفی استفاده نشده است؛ در عوض، از اتصالات محکم و مقاوم در برابر لرزش استفاده شده است.
این امر خطر ایجاد جرقههای الکتریکی را به صفر میرساند. وقتی نیاز به تعویض لامپ باشد، کافی است لامپ را تعویض کرده و اتصالات را محکم کنید؛ سیستم دوباره کار خواهد کرد. هیچ نیازی به تغییرات پیچیده در سیمکشی نیست.